Правообладатель РИД: ЭРЛИКОН СЕРФИЗ СОЛЮШНЗ АГ ТРЮББАХ (CH)

Изобретение относится к мишени для электродугового источника (ARC) с первым телом (3) из подлежащего испарению материала, которое содержит по существу в одной плоскости предусмотренную для испарения поверхность, при этом поверхность в этой плоскости окружает центральную зону. В центральной...