Правообладатель РИД: Архипов Вячеслав Евгеньевич

Изобретение относится к технологии химического осаждения из газовой фазы CVD и может быть использовано для синтеза углеродных наноматериалов, таких как пленки графена, многослойного графена, углеродных нанотрубок. Система химического осаждения из газовой фазы для роста графена содержит...

Изобретение относится к технологиям получения массивов углеродных нанотрубок на поверхности подложки. В реакционной камере формируют поток рабочего газа, содержащего несущий газ, газообразный углеводород и предшественник катализатора для синтеза углеродных нанотрубок. Поток рабочего газа...