Правообладатель РИД: АЛД ВАКУУМ ТЕКНОЛОДЖИЗ ГМБХ (DE)

Изобретение относится к области металлургии и может быть использовано для последовательной термической обработки жидкого электропроводящего материала. Процесс включает плавление и рафинирование подлежащего обработке материала при различных давлениях в разных камерах обработки с источниками...

Изобретение относится к установке для нанесения покрытий на подложки путем электронно-лучевого физического осаждения из паровой фазы. Установка содержит тигельное устройство, содержащее по меньшей мере два тигля, расположенных со смещением друг относительно друга в горизонтальной плоскости....