×

Правообладатель РИД: Стенин Василий Васильевич

Показаны записи 1-2 из 2.
29.06.2019
№219.017.9d33

Способ получения кристаллического кремния высокой чистоты (варианты)

Изобретение может быть использовано для производства кремния полупроводникового качества. Процесс ведут в две стадии в реакторе плазменной печи при температуре выше 1500°С. На первой стадии восстановления в качестве кремнийсодержащего соединения вводят в реактор кварцевую крупку, а в качестве...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002385291
Дата охранного документа: 27.03.2010
27.06.2015
№216.013.5851

Способ и устройство карботермического получения кремния высокой чистоты

Изобретение относится к области получения кристаллического кремния. Способ включает термическое восстановление кварцитов до элементарного кремния с помощью восстановительной газовой смеси с использованием плазмы, при этом процесс ведут одностадийно во встречных потоках кварцитов и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002554150
Дата охранного документа: 27.06.2015
+ добавить свой РИД