Правообладатель РИД: Селезнев Борис Вадимович

Заявленное изобретение относится к области получения тонкопленочных материалов методом химического газофазного осаждения. Питатель содержит контейнер для раствора прекурсора, вакуумируемую камеру с зонами сушки и сублимации, средство для перемещения раствора прекурсора через вакуумируемую...

Изобретение относится к электродному узлу электронных приборов и предназначено для использования преимущественно в приборах вакуумной микроэлектроники. Электродный узел содержит два плоских электрода 1.2, 3.2 и разделяющий их кольцеобразный диэлектрический спейсер 2.1, на противоположные...