Правообладатель РИД: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (АО "НИИМЭ")

Изобретение относится к технологии изготовления многоуровневой металлизации сверхбольших интегральных микросхем (СБИС). Способ изготовления медной многоуровневой металлизации СБИС многократным повторением процессов изготовления типовых структур, состоящих из медных горизонтальных и...