Правообладатель РИД: ПЛЮСНИН Николай Иннокентьевич

Использование: для производства материалов на основе полупроводников, диэлектриков и металлов, в качестве стабильного материала или метастабильной фазы-прекурсора этого материала. Сущность изобретения заключается в том, что композитный наноматериал содержит различные по атомному составу...

Изобретение относится к композитным наноматериалам и может быть использовано в приборостроении для производства материалов на основе полупроводников, диэлектриков и металлов. Композитный материал, полученный вакуумным осаждением пленки из ультратонких слоев наноразмерной толщины на несущей...

Изобретение относится к способам получения композитных наноматериалов и может быть использовано в приборостроении и других областях при производстве материалов на основе полупроводников, диэлектриков или металлов. Способ включает вакуумное осаждение на подложке из монокристаллического кремния с...