Правообладатель РИД: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет " (ПГУ)

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных средств. Датчик содержит корпус, установленную в нем нано- и микроэлектромеханическую систему (НиМЭМС), состоящую из упругого элемента - мембраны с жестким центром, с...