Правообладатель РИД: Воронов Сергей Александрович

Изобретение относится к изготовлению средств выявления примеси газов в воздушной среде и определения уровня концентрации газов в среде. Техническим результатом изобретения является возможность получения тонкопленочных (1-5 мкм) диэлектрических мембран по всей площади подложки одновременно и...

Изобретение относится к области радиоэлектроники. Технический результат заключается в расширении функциональных возможностей в рабочих диапазонах длинных и коротких волн. Сущность изобретения состоит в том, что в малогабаритной антенне, содержащей вертикальный токоведущий вибратор,...

Изобретение относится к области средств защиты от перегрузок электронных изделий и может быть использовано для защиты трековых детекторов переходного излучения. Техническим результатом является обеспечение работоспособности при высоких напряжениях и повышение надежности и стабильности работы....

Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к технологии изготовления оксидного слоя, являющегося основным структурным элементом интегральных схем на основе МОП-транзисторов. Изобретение обеспечивает возможность получения пленок диоксида кремния, обладающих повышенным...