Правообладатель РИД: Открытое акционерное общество "Завод ПРОТОН-МИЭТ"

Изобретение предназначено для линейных подвижек в точной механике. Например, оно может использоваться в контурографах, профилометрах и сканирующих зондовых микроскопах. Устройство прецизионного перемещения содержит направляющую (1), выполненную из монокристаллического материала, каретку (2),...