Правообладатель РИД: Носков Михаил Федорович

Изобретение относится к области интерференционных измерений, а конкретнее к способам повышения точности измерений путем многократного переотражения зондирующего излучения между эталонной и исследуемой поверхностью. Поставленная задача достигается тем, что при предварительной настройке...

Способ наблюдения многолучевой интерференционной картины в отраженном свете при помощи интерферометра Фабри-Перо включает получение интерференционной картины при наклоне одного из зеркал относительно другого на угол α и анализ полученной картины. При этом производят фокусировку отраженного...

Способ бесконтактного измерения параметров шероховатости поверхности объектов относится к информационно-измерительной технике. При измерении шероховатости направляют на измеряемую поверхность пучок зондирующего излучения, формируют область освещенной излучением поверхности, измеряют...