Правообладатель РИД: Открытое акционерное общество "НИИЭФА им. Д.В.Ефремова" (ОАО "НИИЭФА")

Группа изобретений относится к нанесению покрытий. Устройство по варианту 1 содержит два коаксиально размещенных электрода и цилиндрический межэлектродный изолятор. Торец центрального электрода заглублен относительно торца внешнего электрода с образованием канала для плазменного потока, на...