Правообладатель РИД: Российская Федерация от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"-Госкорпорация "Росатом"

Использование: область микроэлектроники, а именно сборка микроэлектромеханических устройств и систем (МЭМС) на основе пьезоэлектрического кварца. Технический результат: повышение надежности функционирования в условиях высоких комплексных внешних воздействий. Сущность: способ включает выполнение...