Правообладатель РИД: Глявин Михаил Юрьевич

Изобретение относится к технике вакуумных СВЧ электронных приборов. Технический результат - повышение устойчивости и эффективности работы пушки. Неадиабатическая электронная пушка для мазера на циклотронном резонансе (МЦР) включает расположенные на спадающем участке магнитного поля основного...

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается устройства получения направленного экстремального ультрафиолетового излучения с длиной волны 11.2 нм ±1% для проекционной литографии высокого разрешения. Устройство включает в себя гиротрон, генерирующий пучок излучения...

Изобретение может быть использовано для получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений методом «испарения - конденсации» в потоке газа. Перерабатываемый материал подают в виде грубодисперсного порошка с размером частиц не менее 1 мм. Для его испарения используют поток...

Изобретение относится к электронным пушкам приборов пролетного типа с трубчатым электронным потоком, коаксиальным оси резонатора, например гиротронов. Технический результат - повышение эффективности генерации микроволнового излучения за счет того, что электронная пушка для формирования винтовых...