Правообладатель РИД: Синельников Дмитрий Николаевич

Изобретение относится к способу определения толщины и контроля скорости эрозии и осаждения тонких слоев на обращенных к плазме элементах плазменных установок. В изобретении предусмотрено изготовление и помещение в плазменную установку мишеней из легкого и/или тяжелого элемента (например,...

Использование: для определения элементного состава и толщины поверхностной пленки твердого тела. Сущность: заключается в том, что выполняют измерение энергетических спектров ионов, отраженных и выбитых из поверхности твердого тела, при этом измеряют энергетические спектры непосредственно в...