Правообладатель РИД: Денисенко Марк Анатольевич

Изобретение относится к области микросистемной техники, а более конкретно - к наноэлектромеханическим коммутационным устройствам. Технический результат заключается в повышении энергоэффективности. Изобретение представляет собой интегральный микромеханический туннельный переключатель,...

Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а именно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Акселерометр содержит полуизолирующую подложку, основание неподвижного электрода, основание электростатического актюатора, якорную область подвижного...

Изобретение относится к квантовой электронной технике. В интегральный инжекционный лазер введены верхняя управляющая область второго типа проводимости, примыкающая к верхнему волноводному слою, нижняя управляющая область второго типа проводимости, примыкающая к нижнему волноводному слою, нижняя...