Правообладатель РИД: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" (ОАО "НИИМЭ") Российская Федерация

Изобретение относится к области калибровки оптических цифровых и конфокальных микроскопов, растровых электронных микроскопов и сканирующих зондовых микроскопов при измерении микронных и нанометровых длин отрезков. Тестовый объект для калибровки микроскопов выполнен в виде канавочных структур,...