Правообладатель РИД: Ивлиев Николай Александрович

Способ может использоваться для контроля микронеровностей поверхностей, полученных в результате воздействия машиностроительных технологических операций. В способе исследуемую поверхность очищают, наносят на нее жидкость в виде капли фиксированного объема, регистрируют момент окончания...

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике при производстве дифракционных микропрофилей. Способ заключается в том, что производят сдвиг...