Правообладатель РИД: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" (ОАО "НИИМЭ")

Изобретение относится к гальванотехнике и может быть использовано в технологии микроэлектроники, в которой слой меди необходимо нанести на тонкий подслой кобальта или его сплавов (кобальт-фосфор, кобальт-вольфрам-фосфор) или меди, находящейся на поверхности кремниевых пластин. Электроосаждение...