Правообладатель РИД: Барченко Владимир Тимофеевич

Использование: для определения концентрации элементов в приповерхностном слое твердого тела. Сущность заключается в том, что осуществляют облучение поверхности твердого тела первичным пучком электронов, регистрируют энергетический спектр электронов, вышедших из твердого тела, при этом...

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии. Магнетрон, оснащенный полым трубчатым катодом-мишенью (1), присоединен с помощью электромагнитного направляющего устройства (ЭНУ) к рабочей камере (2), в которой смонтирован держатель (3) обрабатываемого изделия. Магнетрон оборудован...

Изобретение относится к способу обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме для удаления загрязнений. Технический результат изобретения состоит в обеспечении надежной фиксации и управляемого характера перемещения катодных пятен по очищаемой поверхности. Инициируют на обрабатываемой...