Правообладатель РИД: Колпаков Всеволод Анатольевич

Изобретение относится к области формирования тонких пленок сложного состава в вакууме и может быть использовано в микроэлектронике. Испаритель твердых растворов, используемый для формирования тонких пленок в вакууме, содержит корпус в виде стакана и заслонку в виде крышки, внутренняя часть...

Изобретение относится к испарителю многокомпонентных растворов. Испаритель содержит заслонку в виде конуса, корпус в виде стакана, нагреватель, размещенный со стороны внешней поверхности корпуса. Во внутренней части заслонки, входящей в полость корпуса, симметрично ее конусной части выполнена...

Изобретение относится к области силовой электроники и может быть использовано при сплавлении элементов силовых полупроводниковых приборов. Кассета для сплавления элементов конструкции полупроводниковых диодов содержит основание, выполненное из пластины углерода, в котором внедрены керамические...

Изобретение относится к области силовой электроники. Кассета для сплавления элементов конструкции полупроводниковых диодов содержит основание, выполненное из пластины углерода, в котором по образующей окружности термокомпенсатора изготовлены п-образные полости глубиной h=(1-2) диаметра...

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике при производстве дифракционных микропрофилей. Способ заключается в том, что производят сдвиг...