Правообладатель РИД: Российская Федерация от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом"

Группа изобретений может быть использована при изучении физики плазмы высоких плотностей энергии, в микроэлектронике, в газовой диагностике и ядерной энергетике. Способ включает создание заданной газовой среды, нагрев подложки, подачу металлоорганического соединения к подложке, его разложение с...