Правообладатель РИД: Галанов Геннадий Николаевич

Использование: для определения характеристик жидкости. Сущность заключается в том, что возбуждают в пластинчатом звукопроводе из кристаллического пьезоэлектрика акустические пластинчатые моды колебаний, приводят указанный звукопровод в контакт с тестируемой жидкостью и регистрируют параметры...

Способ определения параметров плазменного травления материалов в процессе обработки изделий включает измерение параметров модельного образца в виде структуры, образованной первой и второй акустическими линиями задержки (АЛЗ), содержащими входные и выходные электроакустические преобразователи,...

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления интегральных пьезоэлектрических устройств (фильтры, резонаторы, линии задержки на поверхностных акустических волнах (ПАВ)), которые находят широкое применение в авионике и бортовых системах,...

Областью применения изобретения является микроэлектроника, а более конкретно микроэлектроника интегральных пьезоэлектрических устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ)-резонаторов, которые находят широкое применение в авионике и бортовых системах, телекоммуникации и т.д. Способ...