Правообладатель РИД: Российская Федерация от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли РФ

Изобретение может быть использовано для контроля при сборке и юстировке высокоразрешающих оптических систем. Метод включает формирование излучения на рабочей длине волны интерферометром в виде гомоцентрического пучка лучей, центр которого является тест-объектом, который совмещают с предметной...