Правообладатель РИД: Учреждение Российской Академии наук "Институт физики им. Х.И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН"

зобретение относится к области производства керамических материалов и предназначено для изготовления мишеней, являющихся источником материала для магнетронного, электронно-лучевого, ионно-лучевого и других методов нанесения пленок в микро-,опто- и наноэлектронике. В соответствии с заявленным...