Правообладатель РИД: ЭРЛИКОН ТРЕЙДИНГ АГ ТРЮББАХ (CH)

Изобретение относится к барьерным слоям, обеспечивающим снижение проницаемости материала для конкретных субстанций. Способ для получения на подложке барьера, препятствующего прониканию водорода, содержит стадию осаждения на подложке слоевой системы (LS), содержащей, по меньшей мере, один слой...