Правообладатель РИД: ЭРЛИКОН ТРЕЙДИНГ АГ ТРЮББАХ (CH)

Вакуумная установка нанесения покрытий содержит впуск (12) реакционноспособного газа, по меньшей мере один PVD-источник (8, 21) покрытия с плоским катодом (11) и подложкодержатель (6), содержащий несколько подложек (7), при этом подложкодержатель (6) обладает двухмерной горизонтальной...