Правообладатель РИД: Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Пульсар"

Изобретение относится к технологии создания полупроводниковых приборов, в частности к области конструирования и производства мощных биполярных кремниевых СВЧ-транзисторов. Техническим результатом изобретения является воспроизводимость процесса диффузии бора в кремний. Сущность изобретения: в...