×
16.06.2023
223.018.7d2f

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ БОЛЬШИХ ОБЪЕМОВ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ЗАМАГНИЧЕННОЙ ПЛАЗМЫ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к области физики плазмы, газового разряда, сильноточной электроники и т.д. и может быть использовано для генерации магнитоактивной низкотемпературной плазмы в больших объемах, в том числе в целях проведения научно-исследовательской деятельности. Технический результат - повышение стабильности параметров формируемой плазмы за счет совершенствования способа стабилизации тока газового разряда и тока полеобразующего соленоида. Способ включает следующие этапы: внутри объема вакуумной камеры вдоль ее оси размещают плоский сплошной термокатод и плоский сетчатый анод, обеспечивают разреженный газовый промежуток между термокатодом и анодом, посредством внешнего соленоида формируют в вакуумной камере осевое квазипостоянное сильное магнитное поле, к вышеуказанным электродам подводят достаточное для зажигания газового разряда напряжение в виде пакета прямоугольных импульсов, во время «нулевых» фаз которых обеспечивают непрерывность тока в газоразрядном промежутке, а пульсации тока в газоразрядном промежутке, возникающие при подаче на электроды импульсов напряжения, сглаживают. Во внешнем соленоиде формируют стабилизированный квазипостоянный ток, а напряжение на электроды подают в виде пакета прямоугольных импульсов с изменяющимися относительно друг друга длительностями «нулевых» и положительных фаз. 2 ил.

Изобретение относится к области физики плазмы, газового разряда, сильноточной электроники и т.д., и может быть использовано для генерации магнитоактивной низкотемпературной плазмы в больших объемах, в том числе в целях проведения научно-исследовательской деятельности.

Из предшествующего уровня техники известны способы генерации плотной объемной импульсной плазмы [1, 2, 3], включающие установку полого самокалящего сетчатого катода и сетчатого анода внутри рабочей камеры вдоль ее оси, напуск газа в разрядный промежуток, подвод напряжения к электродам, достаточного для зажигания газового разряда. Посредством таких способов получают токи разряда до 100 А и, соответственно, объемную низкотемпературную газоразрядную плазму с высокой концентрацией.

Основными недостатками этих способов являются необходимость поддержания высокого давления рабочего газа в полом катоде (~10 Па), что приводит к высокой скорости рекомбинации образованной плазмы и, как следствие, к резкому спаду ее концентрации вдоль оси разрядного промежутка, а также ограничение тока пучка электронов величиной ~100 А, обусловленное переходом тлеющего разряда в дугу с катодным пятном.

Также известен способ формирования больших объемов низкотемпературной замагниченной плазмы, используемый на лабораторных стендах LAPD [4] и LVPD [5]. Этот способ заключается в размещении термокатода и сетчатого анода внутри вакуумной камеры вдоль ее оси на расстоянии друг от друга ~0,5 м, создании внутри вакуумной камеры разреженного газового пространства с давлением ~10-5 Торр, формировании в вакуумной камере с помощью внешнего соленоида и источника постоянного тока квазипостоянного сильного магнитного поля, и подводке к электродам одиночного импульса напряжения. В результате этого в газоразрядном промежутке формируется объемный газовый разряд с током ~100 А и образуется низкотемпературная замагниченная плазма, которая сквозь сетчатый анод проникает в рабочий объем вакуумной камеры ~10 м3.

В процессе горения газового разряда амплитуда импульса напряжения, приложенного между термокатодом и сетчатым анодом, заметно «проседает», поэтому на различных участках импульса разрядного тока его значения заметно различаются. Это приводит к нестабильному горению разряда и, как следствие, к непостоянству параметров образованной плазмы.

Наиболее близким к заявляемому способу является способ формирования больших объемов низкотемпературной замагниченной плазмы, отображенный в [6]. Этот способ включает в себя установку плоского сплошного термокатода и плоского сетчатого анода с большой прозрачностью внутри вакуумной камеры вдоль ее оси и создание внутри вакуумной камеры разреженного пространства с давлением ~10-5 Торр, заполненного гелием (Не). Затем посредством внешнего соленоида внутри вакуумной камеры формируют квазипостоянное сильное магнитное поле. После этого к предварительно нагретому до рабочей температуры термокатоду и сетчатому аноду прикладывают пакеты импульсов напряжения с амплитудой ~100 В с фиксированной периодичностью и в межэлектродном пространстве загорается объемный газовый разряд с током ~100 А длительностью ~10 мс. При этом в периоды «нулевых» фаз импульсов напряжения ток в газоразрядном промежутке сохраняется за счет того, что токовый контур, проходящий через межэлектродное пространство, замыкается через шунтирующий диод, подключенный параллельно сглаживающему пульсации разрядного тока дросселю и разрядному промежутку, а также за счет того, что разрядный промежуток запитывается энергией дросселя, который накапливает ее во время положительных фаз импульсов напряжения.

В процессе горения этого разряда образуется низкотемпературная замагниченная плазма, которая через сетчатый анод инжектируется в рабочее пространство вакуумной камеры. Однако при формировании внешнего квазипостоянного сильного магнитного поля, сопровождающегося длительным прохождением тока большой величины, происходит разогрев полеобразующего соленоида и заметное увеличение его сопротивления, что влечет за собой неконтролируемое снижение тока через соленоид и формируемого им магнитного поля и, как следствие, неконтролируемое изменение степени замагниченности плазмы в рабочем объеме вакуумной камеры.

Также во время горения разряда эмиссионная способность термокатода, влияющая на величину разрядного тока, варьируется произвольным образом в довольно широких пределах. В связи с этим в разных импульсах одного пакета для достижения верхней и нижней границ заданного диапазона стабилизации тока требуются разные длительности положительной и «нулевой» фазы импульсов напряжения. Подача на электроды фиксированных периодических импульсов не позволяет подстраиваться под изменения эмиссионной способности термокатода, что негативно сказывается на стабильности параметров плазмы, формируемой посредством вышеуказанного способа.

Задачей, па решение которой направлено заявляемое изобретение, является создание способа формирования больших объемов низкотемпературной замагниченной плазмы с более стабильными параметрами.

Техническим результатом предложенного изобретения является повышение стабильности параметров формируемой плазмы за счет совершенствования способа стабилизации тока газового разряда и тока полеобразующего соленоида.

Технический результат достигается тем, что по сравнению с известным способом формирования больших объемов низкотемпературной замагниченной плазмы, включающим следующие этапы: внутри объема вакуумной камеры вдоль ее оси размещают плоский сплошной термокатод и плоский сетчатый анод, обеспечивают разреженный газовый промежуток между термокатодом и анодом, посредством внешнего соленоида формируют в вакуумной камере осевое квазипостоянное сильное магнитное поле, к вышеуказанным электродам подводят достаточное для зажигания газового разряда напряжение в виде пакета прямоугольных импульсов, во время «нулевых» фаз которых обеспечивают непрерывность тока в газоразрядном промежутке, а пульсации тока в газоразрядном промежутке, возникающие при подаче на электроды импульсов напряжения, сглаживают, новым является то, что во внешнем соленоиде формируют стабилизированный квазипостоянный ток, а напряжение на электроды подают в виде пакета прямоугольных импульсов с изменяющимися относительно друг друга длительностями «нулевых» и положительных фаз.

Во внешнем соленоиде формируют стабилизированный квазипостоянный ток для того, чтобы получить в рабочем объеме вакуумной камеры квазипостоянное магнитное поле, позволяющее равномерно замагнитить все заряженные частицы, образованные в результате газового разряда, что положительно сказывается на стабильности параметров формируемой плазмы.

Подачей на электроды пакета прямоугольных импульсов напряжения с изменяющимися длительностями «нулевых» и положительных фаз обеспечивается возможность осуществления режима импульсной стабилизации тока, позволяющего подстраиваться под изменения эмиссионной способности термокатода, и, как следствие, возможность формирования в газоразрядном промежутке потока заряженных частиц с постоянными во времени характеристиками, что положительно влияет на стабильность параметров формируемой плазмы.

На Фиг. 1 представлена схема устройства, позволяющая реализовать заявляемый способ, где 1 - источник постоянного напряжения, 2 - ключ, 3 - дроссель, 4 - газоразрядный промежуток с термокатодом (к) и сетчатым анодом (а), 5 - внешний соленоид, 6 - диод.

На Фиг. 2 приведены типовые осциллограммы выходного напряжения источника 1 и соответствующего стабилизированного тока, протекающего через термокатод 4к.

Заявляемый способ формирования больших объемов низкотемпературной замагниченной плазмы осуществляется в примере устройства, приведенном на фиг. 1, следующим образом. Сначала внутри вакуумной камеры с объемом 6 м3 вдоль ее оси устанавливают сплошной плоский ВаО-термокатод 4к и плоский сетчатый анод 4а, имеющий прозрачность для электронов 95%, на расстоянии ≈0,4 м друг от друга. Затем производят полную откачку атмосферного воздуха из вакуумной камеры, напускают в нее рабочий газ, в частности, гелий (Не) и снова производят откачку до рабочего давления ~10-5 Торр. Тем самым обеспечивают разреженный газовый промежуток 4 между термокатодом 4к и анодом 4а. После разогревают термокатод 4к до рабочей температуры ≈900°С. Далее с помощью внешнего соленоида 5. окольцовывающего вакуумную камеру, посредством пропускания через него квазипостоянного стабилизированного тока величиной ~200 А в рабочем объеме камеры формируют квазипостоянное осевое магнитное поле с индукцией ~100 мТл и стабильными во времени параметрами. Стабилизированный ток получают с помощью внешнего мощного источника постоянного тока с напряжением 800 В, выполненного на основе сборки из 64 стартерных аккумуляторных батарей и работающего в режиме импульсной стабилизации тока в индуктивной нагрузке, т.е. в соленоиде 5. Затем посредством замыкания ключа 2, выполненного на основе сильноточного полупроводникового транзистора, к термокатоду 4к и аноду 4а подключают мощный источник постоянного напряжения 1, выполненный из восьми стартерных аккумуляторных батарей, и тем самым подводят к вышеуказанным электродам прямоугольный импульс с напряжением 100 В. За время этого импульса в газоразрядном промежутке 4 загорается разряд и ток разряда постепенно возрастает до величины ≈200 А. При этом формируется низкотемпературная гелиевая плазма с концентрацией ~1012 см-3, которая через сетчатый анод 4а инжектируется в рабочий объем вакуумной камеры.

По достижению током в газоразрядном промежутке 4 заданного верхнего предела (202 А) ключ 2, управляемый контроллером, размыкается, и импульс напряжения, подводимый к термокатоду 4к и аноду 4а, переходит из положительной фазы в «нулевую» фазу. При «нулевой» фазе энергию, необходимую для поддержания процесса горения газового разряда, отдает дроссель 3, накапливавший ее в течение положительной фазы импульса напряжения. В это время разрядный ток лишь плавно спадает, разряд продолжает равномерно гореть, а плазма формироваться, тем самым обеспечивают непрерывность тока в газоразрядном промежутке 4 в период «нулевой» фазы импульса напряжения. При этом контур разрядного тока, проходящий через дроссель 3 и газоразрядный промежуток 4, замыкается через шунтирующий сильноточный полупроводниковый диод 6. Также с помощью дросселя 3 сглаживаются пульсации тока в газоразрядном промежутке 4, возникающие при подаче на электроды пакета импульсов напряжения, и тем самым обеспечивается плавность как нарастания, так и спада разрядного тока.

По достижению током в газоразрядном промежутке 4 заданного нижнего предела (198 А) ключ 2 замыкается, к терм о катоду 4к и аноду 4а вновь подводится напряжение источника 1, и разрядный ток плавно возрастает до верхнего предела (202 А), после достижения которого ключ 2 снова размыкается. Дальнейший процесс генерации разрядного тока камеры повторяется и таким образом получается, что напряжение на электроды подают в виде пакета прямоугольных импульсов. В результате этого формируется стабилизированный разрядный ток и, соответственно, замагниченная низкотемпературная плазма со стабильными параметрами. При этом длительности положительной и «нулевой» фазы импульсов напряжения в пакете отличаются друг от друга на несколько процентов, поскольку эмиссионная способность термокатода от импульса к импульсу неконтролируемо изменяется как в большую, так и меньшую сторону в пределах 1-10%.

В примере конкретного исполнения на предприятии при проведении научно-исследовательской деятельности посредством заявляемого способа многократно формировался столб низкотемпературной магнитоактивной гелиевой плазмы. Типичные для этих экспериментов осциллограммы выходного напряжения источника 1 и соответствующего стабилизированного тока, протекающего через термокатод 4к, приведены на Фиг. 2. На осциллограмме тока видно, что ширина диапазона стабилизации составляла ≈2% от величины тока, сформированного в газоразрядном промежутке 4. При этом происходило несколько десятков переключений ключа 2.

Источники информации:

[1] Форрестер А.Т. Интенсивные ионные пучки.

[2] Москалев Б.И. Разряд с полым катодом. М.: Энергия, 1969, с. 164-169.

[3] А.с. №2632927, опубл. 10.11.2017, Гаврилов Н.В., Каменецких А.С., Меньшаков А.И., Способ генерации плотной объемной импульсной плазмы.

[4] Gekelman W., Pfister Н., Lucky Z., Bamber J., Leneman D., Maggs J. Rev. Sci. Instrum. 3991,62 (12), p.2875.

[5] S.K. Mattoo, V.P. Anitha, L.M. Awasthi, G. Ravi J. Rev. Sci. Instrum. 2001, 72 (10), p.3864.

[6] Патент RU №2711180, приор. 16.04.2019, Буянов А.Б., Воеводин С.В., Корчиков B.C., Лимонов А.В., Нечайкин Р.В., Перминов А.В., Тренькин А.А., Цицилин П.А., Устройство формирования низкотемпературной магнитоактивной плазмы в больших объемах, опубл. 15.01.2020.

Способ формирования больших объемов низкотемпературной замагниченной плазмы, заключающийся в том, что внутри объема вакуумной камеры вдоль ее оси размещают плоский сплошной термокатод и плоский сетчатый анод, обеспечивают разреженный газовый промежуток между термокатодом и анодом, посредством внешнего соленоида формируют в вакуумной камере осевое квазипостоянное сильное магнитное поле, к вышеуказанным электродам подводят достаточное для зажигания газового разряда напряжение в виде пакета прямоугольных импульсов, во время «нулевых» фаз которых обеспечивают непрерывность тока в газоразрядном промежутке, а пульсации тока в газоразрядном промежутке, возникающие при подаче на электроды импульсов напряжения, сглаживают, отличающийся тем, что во внешнем соленоиде формируют стабилизированный квазипостоянный ток, а напряжение на электроды подают в виде пакета прямоугольных импульсов с изменяющимися относительно друг друга длительностями «нулевых» и положительных фаз.
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 311-320 из 686.
06.07.2018
№218.016.6d01

Способ контроля параметров состояния многокомпонентной газовой среды в герметичном контейнере

Изобретение относится к области методов измерений параметров состояния изменяющейся во времени газовой среды и может быть использовано для контроля безопасного состояния наблюдаемой многокомпонентной газовой среды, содержащей токсичные или взрывопожароопасные компоненты. Предложен способ...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660287
Дата охранного документа: 05.07.2018
08.07.2018
№218.016.6dcd

Виброчастотный датчик абсолютного давления

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к устройствам для измерения давления разрежения. Заявленный виброчастотный датчик абсолютного давления содержит крышку со штуцером, закрывающую корпус, внутри которого расположены воспринимающий элемент, виброчастотный элемент,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660621
Дата охранного документа: 06.07.2018
08.07.2018
№218.016.6dd4

Система импульсно-периодической зарядки

Система импульсно-периодической зарядки (СИЗ) с промежуточным емкостным накопителем относится к высоковольтной импульсной технике и может быть использована при разработке мощных импульсно-периодических ускорителей электронов и СВЧ-генераторов на их основе. Система импульсно-периодической...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660171
Дата охранного документа: 05.07.2018
08.07.2018
№218.016.6e82

Способ определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей

Изобретение относится к области фотометрии и касается способа измерения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей. Способ включает в себя проведение измерений мощности излучения с постановкой контролируемой детали в схеме измерений и без ее постановки. Измерения проводят в двух...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660398
Дата охранного документа: 06.07.2018
08.07.2018
№218.016.6e87

Способ изготовления светопоглощающих элементов оптических систем на титановых подложках

Использование: получение светопоглощающих многослойных изделий для изготовления светопоглощающих элементов оптических - электронных приборов и оптических систем (зеркал) космических аппаратов. Техническим результатом изобретения является разработка способа получения светопоглощающих элементов...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660408
Дата охранного документа: 06.07.2018
08.07.2018
№218.016.6eab

Многоканальный регистратор деформаций

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к средствам измерения относительных деформаций. Многоканальный регистратор деформаций, каждый канал которого содержит датчик деформаций в виде тензорезистора, входящего в состав мостовой схемы, аналого-цифровой преобразователь и внутренний...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660409
Дата охранного документа: 06.07.2018
12.07.2018
№218.016.6fbe

Способ и устройство крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе (варианты)

Группа изобретений относится к области лазерной техники и может быть использована для монтажа крупногабаритных оптических элементов, в частности зеркал транспортировки лазерного излучения, а также для закрепления подвижных зеркал опорно-поворотных устройств (ОПУ). Сущность изобретений...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002661049
Дата охранного документа: 11.07.2018
12.07.2018
№218.016.6fdd

Способ получения герметичного корпуса микроэлектронного устройства с контролируемой средой в его внутреннем объеме

Способ предназначен для использования в сварочном производстве при герметизации микроэлектронных устройств (МЭУ) методом электронно-лучевой сварки с обеспечением в их внутреннем объеме контролируемой атмосферы. Основание 1 выполняют с фаской 3. Свариваемые кромки основания 1 и крышки 2...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660799
Дата охранного документа: 09.07.2018
12.07.2018
№218.016.6fed

Способ настройки резонатора лазерного излучателя

Изобретение относится к лазерной технике, а именно к способам настройки оптических резонаторов, содержащих выходное и заднее зеркала с плоскими либо со сферическими рабочими поверхностями и уголковый отражатель, и может быть использовано при создании лазерной техники и оптических приборов,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660778
Дата охранного документа: 09.07.2018
12.07.2018
№218.016.7003

Устройство для определения параметров уравнения состояния вещества, изоэнтропически сжатого до сверхвысоких давлений

Изобретение относится к физике высоких давлений, а именно к устройству для определения параметров уравнения состояния вещества, изоэнтропически сжатого до сверхвысоких давлений, и может быть использовано для исследований свойств веществ с малым атомным номером. Устройство содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660884
Дата охранного документа: 10.07.2018
Показаны записи 1-5 из 5.
13.02.2018
№218.016.2587

Разрядная камера для проведения плазмохимических реакций

Разрядная камера для проведения плазмохимических реакций относится к плазмохимии, к синтезу озона и окислов азота из атмосферного воздуха, смеси кислорода с азотом с помощью барьерного разряда и может найти применение в научных исследованиях и медицине. Разрядная камера включает два...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002642798
Дата охранного документа: 26.01.2018
20.03.2019
№219.016.e315

Генератор высоковольтных импульсов

Изобретение относится к высоковольтной импульсной технике. Технический результат заключается в упрощении управления временем коммутации разрядника за счет упрощения конструкции. Технический результат достигается за счет генератора импульсного напряжения, содержащего коаксиальную одинарную...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002682305
Дата охранного документа: 18.03.2019
18.05.2019
№219.017.58a4

Импульсный генератор

Генератор относится к высоковольтной импульсной технике, к преобразовательной технике и может быть использован в частности для запитки геофизических диполей, соленоидов с высоким энергозапасом, для испытания силовых трансформаторов путем их нагружения килоамперными токами большой длительности и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002322755
Дата охранного документа: 20.04.2008
02.10.2019
№219.017.cfb5

Устройство для измерения параметров слабого магнитного поля в низкотемпературной магнитоактивной плазме

Изобретение относится к области физики плазмы, газового разряда, радиоэлектроники и т.д. и может быть использовано для измерения параметров слабых магнитных полей и МГД волн в низкотемпературной магнитоактивной плазме. Техническим результатом является уменьшение погрешности измерения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002700287
Дата охранного документа: 16.09.2019
17.01.2020
№220.017.f679

Устройство формирования низкотемпературной магнитоактивной плазмы в больших объемах

Изобретение относится к области физики плазмы, газового разряда, сильноточной электроники и т.д. и может быть использовано для генерации магнитоактивной низкотемпературной плазмы в больших объемах в целях проведения научно-исследовательской деятельности. Технический результат - повышение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002711180
Дата охранного документа: 15.01.2020
+ добавить свой РИД