×
17.01.2020
220.017.f6c9

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ИОННОЙ ОЧИСТКИ В СКРЕЩЕННЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И МАГНИТНЫХ ПОЛЯХ ПЕРЕД ВАКУУМНОЙ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКОЙ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к металлургической промышленности, а именно к химико-термической обработке поверхности деталей. Способ вакуумной ионно-плазменной очистки деталей включает загрузку в камеру предварительно очищенных от загрязнений деталей, получение в ней вакуума и проведение ионной очистки. Перед проведением ионной очистки камеру продувают аргоном в течение 2-5 мин при давлении 1330 Па, затем откачивают до давления 5-15 Па, а ионную очистку проводят при напряжении 800-900 В в газовой плазме инертного газа повышенной плотности, которую получают в тлеющем разряде с наложением скрещенных электрического и магнитного полей. Обеспечивается повышение эффективности вакуумной ионно-плазменной обработки. 1 ил., 1 пр.

Изобретение относится к металлургической промышленности, а именно к химико-термической обработке поверхности изделий.

Известен способ комплексной обработки изделий (Патент РФ 2039843, С23С 14/00, 03.03.1992), в котором процесс очистки и нагрева изделия проводят при воздействии пучка ускоренных частиц с энергией выше порога распыления материала подложки, генерируемых автономным источником.

Недостатками данного способа являются:

- необходимость создания сложного технологического оборудования;

- ограничения по обработке деталей с сложным геометрическим профилем.

Известен способ очистки подложек перед вакуумным напылением с применением сеточного полого катода, в котором для ионной очистки используется цилиндрический полый катод диаметром 65 и длинной 130 мм, изготовленный из сетки с шагом 2,5 мм, выполненный из нержавеющей стали с помощью которого создается плазма повышенной плотности (Рогов А.В., Лозован А.А. Применение сеточного полого катода для очистки подложек перед вакуумным напылением // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - №. 5. - С. 99-103.)

Недостатками данного способа являются:

- ограничения по обработке деталей с сложным геометрическим профилем;

- попадание материала сеточного полого катода на подложку.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к заявляемому является способ вакуумной ионно-плазменной обработки (патент РФ 2122602, С23С 14/48. 24.11.1998), по которому производят загрузку в камеру предварительно очищенных от загрязнений деталей, получение в ней рабочего вакуума, проведение ионной очистки в среде инертного газа с помощью источника газовой плазмы на основе дугового разряда с накаленным катодом и вакуумное ионно-плазменное упрочнение, при этом перед ионной очисткой проводят электронный разогрев детали до температуры начала ионно-вакуумного упрочнения.

Недостатками прототипа являются:

- длительность процесса очистки в связи с необходимостью в предварительном электронном нагреве;

- ухудшение качества поверхности в связи с тем, что при проведении процесса в данном типе разряда возможно попадание продуктов эрозии катода на поверхность обрабатываемых изделий;

- неравномерное распределение плотности ионного тока.

Задачей предлагаемого изобретения является повышение эффективности вакуумной ионной очистки.

Техническим результатом является повышение эффективности вакуумной ионно-плазменной обработки.

Задача решается, а технический результат достигается тем, что в способе вакуумной ионно-плазменной очистке деталей включающем загрузку в камеру предварительно очищенных от загрязнений деталей, получение в ней вакуума и проведение ионной очистки, в отличие от прототипа, перед проведением ионной очистки камеру продувают аргоном в течение 2-5 мин при давлении 1330 Па, затем откачивают до давления 5-15 Па, а ионную очистку проводят при напряжении 800-900 В в газовой плазме инертного газа повышенной

плотности, которую получают в тлеющем разряде с наложением скрещенных электрического и магнитного полей.

Качество модифицированного слоя и покрытий зависит как от параметров вакуумной ионно-плазменной обработки, так и от состояния поверхности обрабатываемой детали. Состояние поверхности детали зависит от условия предварительной обработки. Поэтому для улучшения качества получаемого упрочненного слоя и покрытий, необходимо удалить все имеющиеся загрязнения с поверхности (очистить поверхность). Грубые загрязнения удаляют механическим способом и химическим способом. Но после таких методов остается поверхностный слой, насыщенный примесными атомами, который отрицательно влияет на диффузию, адгезию, и как следствие на эффективность процесса в целом. При ионной очистке удаляются все поверхностные примеси, также происходит активация поверхности. Притом эффективность и скорость ионной очистки зависит от типа используемых ионов (газовые, металлические), их энергии и плотности тока [Белоус В.А. и др. Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация //Физическая инженерия поверхности. - 2003]. При наложении скрещенных электрических и магнитных полей часть электронов удерживаются в прикатодной области, и происходит дополнительная ионизации газа, что способствует к увеличению плотности тока. Поэтому применение ионной очистки в скрещенных электрических и магнитных полях имеет преимущество по времени и эффективности очистки перед традиционными способами за счет более высокой плотности тока.

Существо изобретения поясняет чертеж, на котором изображена схема реализации способа

Пример конкретной реализации способа.

Способ осуществляется с помощью установки, содержащей источники питания 1 и 2, вакуумную камеру 3, электромагнитную систему 4,

электрод-анод 5, катод - подложку 6, изоляторы 7 и обрабатываемые детали 8. В вакуумной камере 3 подложку 6, на которой располагают детали 8, подключают к отрицательному электроду (катоду) 6, герметизируют вакуумную камеру 3 и откачивают воздух до давления 10 Па. После эвакуации воздуха камеру продувают аргоном в течение 2-5 мин при давлении ~1330 Па, затем откачивают вакуумную камеру 3 до давления 5-15 Па, включают источник питания магнитной системы и подают на электроды анод 5 и катод (подложка с деталями) 6 разность потенциалов с помощью источника питания 1 и зажигают тлеющий разряд. При напряжении 800-900 В осуществляется ионная очистка в плазме повышенной плотности. После 5-7 - минутной обработки по режиму катодного распыления напряжение понижают до рабочего, включают форвакуумный насос и откачивают аргон из вакуумной камеры, далее напускают рабочий газ и проводят процесс химико-термической обработки.

Предлагаемый способ позволяет проводит предварительную ионную очистку поверхности деталей перед вакуумной ионно-плазменной обработкой в плазме повышенной плотности, получаемой в тлеющем разряде с наложением скрещенных электрических и магнитных полей, за счет чего повышается качество последующего упрочнения, сглаживаются микронеровности и микроцарапины, полученные в процессе механической полировки.

Способ вакуумной ионно-плазменной очистки деталей, включающий загрузку в камеру предварительно очищенных от загрязнений деталей, получение в ней вакуума и проведение ионной очистки, отличающийся тем, что перед проведением ионной очистки камеру продувают аргоном в течение 2-5 мин при давлении 1330 Па, затем откачивают до давления 5-15 Па, а ионную очистку проводят при напряжении 800-900 В в газовой плазме инертного газа повышенной плотности, которую получают в тлеющем разряде с наложением скрещенных электрического и магнитного полей.
СПОСОБ ИОННОЙ ОЧИСТКИ В СКРЕЩЕННЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И МАГНИТНЫХ ПОЛЯХ ПЕРЕД ВАКУУМНОЙ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКОЙ
СПОСОБ ИОННОЙ ОЧИСТКИ В СКРЕЩЕННЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И МАГНИТНЫХ ПОЛЯХ ПЕРЕД ВАКУУМНОЙ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКОЙ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 21-30 из 146.
10.05.2018
№218.016.4dac

Способ изготовления шаровых пальцев

Изобретение относится к холодной обработке металлов давлением и может быть использовано при изготовлении деталей типа шаровых пальцев с полой головкой. После отрезки заготовки на первом переходе производят предварительный набор головки с редуцированием стержня и образованием конуса. На втором...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002652331
Дата охранного документа: 25.04.2018
10.05.2018
№218.016.4e02

Адаптивное крыло

Адаптивное крыло содержит кессон, стрингеры, носовую и хвостовую части, электромеханические силовые приводы для деформации этих частей, каждая из которых включает каркас, состыкованный с центральным кессоном. Аэродинамическая поверхность крыла образована армированными эластомерными панелями,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002652536
Дата охранного документа: 26.04.2018
10.05.2018
№218.016.4e09

Боковой сверлящий электрогидравлический керноотборник

Изобретение относится к области горного дела и предназначено для отбора образцов породы (кернов) при геофизическом исследовании скважины. Техническим результатом является улучшение энергетических характеристик бокового сверлящего электрогидравлического керноотборника и увеличение эффективности...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002652216
Дата охранного документа: 25.04.2018
29.05.2018
№218.016.542e

Интеллектуальный стартер-генератор с возможностью самодиагностики

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано для определения скорости вращения и положения ротора электрогенератора, входящего в состав стартер-генератора с возможностью самодиагностики. Технический результат заключается в повышении точности формирования...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002654209
Дата охранного документа: 17.05.2018
29.05.2018
№218.016.5474

Способ локального ионного азотирования стальных изделий в тлеющем разряде с магнитным полем

Изобретение относится к области химико-термической обработки, а именно вакуумному ионно-плазменному азотированию, и может быть использовано в машиностроении. Способ локального азотирования стального изделия в тлеющем разряде в магнитном поле включает проведение вакуумного нагрева участка...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002654161
Дата охранного документа: 16.05.2018
29.05.2018
№218.016.54ea

Устройство для форсирования переходных процессов в электромеханизмах (варианты)

Использование: изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для разработки устройств, предназначенных для форсирования переходных процессов при включении индуктивной нагрузки любого электромеханизма (реле, электромагниты, цепи управления многообмоточных электрических машин -...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002654206
Дата охранного документа: 17.05.2018
29.05.2018
№218.016.55f2

Способ пуска синхронных двигателей с инкорпорированными магнитами (варианты)

Изобретение относится к области электротехники и энергомашиностроения и может быть использовано при прямом асинхронном пуске синхронных двигателей с инкорпорированными магнитами. Техническим результатом является достижение максимально возможного пускового момента, повышение надежности и прямой,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002654631
Дата охранного документа: 21.05.2018
09.06.2018
№218.016.5d39

Устройство для регулирования потока контрольного газа

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к устройствам для контроля локальной герметичности сварных изделий с использованием пробных газов. Устройство для регулирования потока контрольного газа содержит корпус с регулируемым дросселем, запирающий орган которого выполнен в виде...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002656038
Дата охранного документа: 30.05.2018
09.06.2018
№218.016.5d70

Способ гашения колебаний и электростатический демпфер для его осуществления

Изобретение относится к электромашиностроению, в частности к устройству для торможения и гашения крутильных колебаний. Технический результат: регулирование величины вращающего момента электростатического демпфера. На металлические электроды подают напряжение, создают тормозящее электрическое...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002656232
Дата охранного документа: 04.06.2018
09.06.2018
№218.016.5eb7

Автомат перекоса

Изобретение относится к области авиации, в частности к конструкциям систем управления несущими винтами. Автомат перекоса содержит установленный в расточке якоря шариковый однорядный подшипник с разрезным внутренним кольцом, опирающимся на заплечик корпуса и на навинченную на корпус гайку....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002656737
Дата охранного документа: 06.06.2018
Показаны записи 11-11 из 11.
16.05.2023
№223.018.5d94

Способ комбинированной обработки изделия из быстрорежущей стали

Изобретение относится к cпособу комбинированной обработки изделия из быстрорежущей стали. Способ включает нагрев изделия до температуры 950С, последующую закалку, обработку холодом при температуре -70-80С и последующее ионное азотирование, отличающийся тем, что ионное азотирование осуществляют...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002757362
Дата охранного документа: 14.10.2021
+ добавить свой РИД