ВАКУУМНАЯ КАМЕРА

Изобретение относится к конструкциям вакуумных камер и может быть использовано в вакуумных камерах магнитронно-импульсных, плазменных и ионных установок.

Известна вакуумная камера по авторскому свидетельству №1744229 содержащая створку с установленными на ней опорными роликами, закрепленные на камере направляющие, уплотнительные элементы и фиксатор створки.

В данной камере крышка камеры (называемая створкой) перемещается в сторону по направляющей от корпуса параллельно плоскости отверстия камеры.

В наших устройствах это не возможно из-за того, что на крышке камеры размещены рабочие узлы необходимые для процесса напыления.

Наиболее близким аналогом и прототипом является автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-1. Опубликованная на сайте htt:||ао-Kvartz.ru.

Вакуумная камера содержит цилиндрический корпус с двумя крышками с обоих сторон цилиндра и стационарно установленное устройство в виде консоли на верху цилиндрического корпуса камеры для отведения крышек от корпуса камеры и поворота их вокруг центральной оси диаметра крышки на необходимый для обслуживания угол.

Недостатком данного устройства заключается в том, что установка имеет большие габаритные размеры из-за консоли и это влияет на занимаемую площадь в цеху, а также установка неудобна при перевозке.

Заявляемое техническое решение решает задачу улучшение эксплуатационных качеств устройства.

Сущность изобретения состоит в том, что вакуумная камера содержит цилиндрический корпус с двумя крышками с обеих сторон цилиндра и стационарно установленное устройство в виде консоли на верху цилиндрического корпуса для отведения крышек от корпуса камеры и поворота ее вокруг вертикальной оси на необходимый угол, причем устройство выполнено в виде раздвижной компактной системы имеющей возможность после выдвижения крышек цилиндрического корпуса произвести разворот крышки на 90 и 180 градусов вокруг оси смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстоянии равном 0,5 диаметра его внутреннего размера.

Сопоставительный анализ с аналогами и прототипом позволяет сделать вывод, что заявленное техническое решение отличается тем, что устройство выполнено в виде раздвижной компактной системы имеющей возможность после выдвижения крышек цилиндрического корпуса произвести разворот крышки на 90 и 180 вокруг оси смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстоянии равном 0,5 диаметра его внутреннего размера.

Таким образом, заявленное техническое решение соответствует критерию «новизна».

Предлагаемые чертежи поясняют сущность предлагаемого технического решения.

Фиг. 1 - вид вакуумной камеры со стороны крышки.

Фиг. 2 - общий вид вакуумной камеры сбоку.

Фиг. 3 - вид сверху на вакуумную камеру, где одна из крышек выдвинута и развернута на 180 градусов.

Фиг. 4 - сечение по А-А.

Вакуумная камера содержит цилиндрический корпус 1 с двумя крышками 2 с обеих сторон цилиндра. На верху цилиндра на четырех платиках, приваренных к корпусу крепится болтами раздвижная компактная система 3 выполненная в виде корпуса состоящая из двух параллельно друг к другу поставленных швеллеров 4 и 5 полками во внутрь и скрепленных между собой осями 6, на которых через распорные втулки 7 и 8 установлены ролики 9 с буртиками 10 по краям и вращающиеся на шарикоподшипниках 11. Ролики 9 на осях 6 установлены попарно рядом друг с другом симметрично по обе стороны, от центра длины осей, образуя опоры для внутренних 12 и наружных 13 направляющих пластин. Направляющие пластины 12 и 13 передвигаются внутри по верхним и нижним роликам 9 между буртиков 10 роликов.

На одном из швеллеров 5 сделаны вырезы для расположения квадратных труб 14. Направляющие пластины жестко закреплены в квадратной трубе 14. В отстоящей консоли трубы 14 выполнено сквозное отверстие 15 с центром, на расстоянии 0,5 от вертикальной оси внутреннего диаметра цилиндрического корпуса, в котором закреплена ось 16 гайками 17.

Ниже трубы 14 параллельно ей расположена вторая квадратная труба 18, которая одним концом установлена на оси 16 и имеет возможность поворота на подшипниках 19.

На другом конце трубы 18 закреплена крышка 2 вакуумной камеры, таким образом труба 18 с крышкой 2 может поворачиваться вокруг оси 16 на 180 градусов относительно трубы 14.

Для ограничения выхода внутренних 12 и наружных 13 направляющих пластин за пределы раздвижной компактной системы установлены упоры. Для внутренней направляющей ограничителями хода служат упоры 20 и 21, а для наружной направляющей ограничителями хода служат упоры 22 и 23. Упоры 20 и 22 встроены во внутреннюю и наружную направляющие, а упоры 21 и 23 установлены на швеллерах 4 и 5. Фиксация крышек 2 при их повороте осуществляется запором 24 который состоит из стакана 25, пружины 26 и штока 27 с шаровой ручкой 28 на конце.

Устройство работает следующим образом.

Для открытия освобождают крышку 2 от запоров и выдвигают ее из камеры на расстояние соответствующее глубины размещения на крышке рабочих узлов для напыления, что соответствует соприкосновению упоров 20 и 21 или 22 и 23 в зависимости от того какую крышку открывают. Затем оттягивают запор за шариковую ручку 28 вниз и поворачивают крышку 2 на необходимый угол 90 или 180 градусов. Запор фиксируется автоматически за счет пружины 26 шток 27 попадает в отверстие на фланце 29.

Таким образом данное устройство позволяет сократить площадь под оборудование и улучшает эксплуатационные качества вакуумной установки.

Заявителем изготовлен опытный образец и проведенные испытания показали его преимущества по сравнению с прототипом.