×
12.08.2019
219.017.be42

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕХОДНОЙ ТЕПЛОВОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЦИФРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля тепловых свойств цифровых интегральных схем (ЦИС). Сущность: для измерения переходной тепловой характеристики (ПТХ) цифровой интегральной схемы нечетное количество логических элементов включают по схеме кольцевого генератора. Подают питающее напряжение заданного значения и разогревают цифровую интегральную схему ступенькой электрической греющей мощности. Один логический элемент цифровой интегральной схемы поддерживают в заданном логическом состоянии, а в качестве температурочувствительного параметра используют напряжение на выходе логического элемента, состояние которого задано. Измеряют в процессе разогрева в заданные моменты времени t мгновенную потребляемую мощность и напряжение на выходе логического элемента с известным температурным коэффициентом напряжения. Рассчитывают среднюю мощность потребления цифровой интегральной схемой за время от начала нагрева t=0 до момента времени t. Определяют значение переходной тепловой характеристики как отношение приращения напряжения на выходе логического элемента к известному температурному коэффициенту и к средней потребленной мощности для каждого заданного момента времени t по формуле где U(0) и U(t) - выходное напряжение логического элемента, логическое состояние которого задано, в моменты времени t=0 и t соответственно, К - температурный коэффициент выходного напряжения логического элемента, P(t)=[P(0)+P(t)]/2 - средняя мощность, потребляемая цифровой интегральной схемой за время от начала нагрева до момента времени t, а Р(0) и P(t) - мгновенная мощность, потребляемая цифровой интегральной схемой в моменты времени t=0 и t соответственно. Технический результат: повышение точности измерения ПТХ в начале разогрева ЦИС. 2 ил.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к технике измерения тепловых характеристик полупроводниковых изделий и может быть использовано для измерения переходных тепловых характеристик цифровых интегральных схем (ЦИС) как на этапах их разработки и производства, так и на входном контроле предприятий-потребителей ЦИС или при выборе режимов эксплуатации.

Ключевой задачей контроля тепловых свойств полупроводниковых приборов (ППП) является определение параметров их тепловой эквивалентной схемы, по которым можно рассчитать температуру активной области (р-n-перехода) ППП в любом заданном режиме работы прибора. В приближении одномерной тепловой схемы ППП задача сводится к определению набора значений тепловых сопротивлений (RTi) и теплоемкостей (CTi) или тепловых постоянных времени (τTi=RTi⋅CTi) отдельных элементов и слоев материалов, составляющих конструкцию ППП. Указанные параметры могут быть определены по переходной тепловой характеристике (ПТХ) H(t) ППП, то есть по изменению температуры Δθn(t) активной области прибора при его саморазогреве рассеиваемой электрической мощностью заданного уровня Р0, включаемой в момент времени t=0: H(t)=Δθn(t)/P0.

Известен способ измерения ПТХ ППП с p-n-переходами по кривой остывания (см. Давидов П.Д. Анализ и расчет тепловых режимов полупроводниковых приборов. М.: Энергия. - 1967. - стр. 33), состоящий в том, что исследуемый ППП разогревают электрической мощностью известного уровня до установившегося теплового режима, затем разогревающую электрическую мощность отключают, и в заданные моменты времени измеряют изменение температуры р-n-перехода по изменению температурочувствительного параметра (ТЧП), в качестве которого чаще всего используют прямое падение напряжения на р-n-переходе ППП при малом прямом токе. Недостатками этого способа является большое время измерения, определяемое предварительным разогревом ППП до установившегося теплового режима и последующим охлаждением до температуры окружающей среды (фактически время измерения в два раза превышает длительность ПТХ), а также большая погрешность измерения, обусловленная несимметричным характером кривых охлаждения и нагрева ППП из-за различия формы тепловых потоков при охлаждении и нагреве ППП: нагрев ППП осуществляется локальными источниками тепла на поверхности кристалла, а отвод тепла - со всех нагретых поверхностей конструкции ППП.

Известен способ измерения ПТХ ППП с p-n-переходами (см. IC Thermal Measurement Method - Electrical Test Method (Single Semiconductor Device) EIA/JEDEC JESD51-14 standard // http://www.jedec.org/download/search/jesd51-14.pdf), состоящий в том, что на изделие подают ступеньку электрической греющей мощности заданного значения, в процессе разогрева изделия в определенные моменты времени ti на короткий интервал времени (длительностью до нескольких десятков микросекунд) греющую мощность отключают, через контролируемый p-n-переход пропускают малый прямой ток и измеряют ТЧП - прямое падение напряжения на p-n-переходе - температурный коэффициент КТ которого известен, приращение температуры Δθn(ti) в момент времени ti определяется по изменению ТЧП:

где Up-n(0) - падение напряжение на p-n-переходе до разогрева изделия, Up-n(ti) - падение напряжения на p-n-переходе в момент времени ti.

Этот метод реализован, в частности, в установке T3Ster - Thermal Transient Tester (см. T3Ster - Thermal Transient Tester // www.mentor.com/micred).

Недостатком указанного способа является значительная погрешность измерения ТЧП - прямого падения напряжения на контролируемом p-n-переходе - сразу же после выключения греющей мощности из-за влияния паразитных переходных электрических процессов, возникающих в p-n-переходе ППП при переключении из греющего режима в измерительный (см., например, Сергеев В.А., Юдин В.В. Измерение тепловых параметров полупроводниковых изделий с применением амплитудно-импульсной модуляции греющей мощности // Измерительная техника. - 2010. - №6. - С. 32-39.). Для снижения этой погрешности измерение ТЧП необходимо проводить через некоторое время задержки после выключения греющей мощности, за которое электрический переходный процесс в основном завершится; за это время температура p-n-перехода может заметно измениться. При этом постоянная времени релаксации электрических процессов заранее не известна, сильно зависит от значения греющей мощности и может значительно отличаться от образца к образцу.

Наиболее близким к предлагаемому является способ измерения ПТХ ЦИС (см. патент №2613481 РФ Способ измерения переходной тепловой характеристики цифровых интегральных схем / Сергеев В.А., Тетенькин Я.Г. - Опубл. 16.03.2017, Бюл. №8), принятый в качестве прототипа и включающий подачу на ЦИС питающего напряжения, разогрев ЦИС ступенькой электрической греющей мощности путем включения нечетного количества логических элементов ЦИС по схеме кольцевого генератора (КГ), измерение в процессе разогрева в заданные моменты времени ti мгновенной потребляемой ЦИС мощности и частоты ƒКГ колебаний КГ, температурный коэффициент КТƒ которой известен, и определение значения ПТХ в моменты времени tt по формуле

где ƒКГ(0) и ƒКГ(ti) - частота колебаний КГ в моменты времени t0=0 и ti, соответственно, Pcp(ti)=[Р(0)+Р(ti)]/2 - средняя мощность, потребляемая ЦИС за время от начала нагрева t0=0 до момента времени ti, а Р(0) и P(ti) - мгновенная мощность, потребляемая ЦИС в моменты времени t0=0 и ti, соответственно.

Основной недостаток известного способа - значительная погрешность измерения ПТХ в начале (в первые несколько сотен микросекунд) нагрева ЦИС, обусловленная большой погрешностью измерения частоты при малом времени измерения. Как показано в описании известного способа по патенту 2613481 РФ, для измерения частоты КГ методом дискретного счета с погрешностью, сравнимой с погрешностью способа по стандарту JESD51-14, необходимо время счета Тс порядка 100 мкс, а для двукратного измерения - не менее 200 мкс. Поскольку тепловые постоянные времени τТкр кристалла современных ЦИС составляют сотни микросекунд, то за время измерения частоты КГ температура кристалла может заметно измениться, что приведет к погрешности определения ПТХ в начале нагрева ЦИС. Заметим, что ПТХ именно в начале нагрева ЦИС является наиболее информативной характеристикой для диагностики качества структуры ЦИС.

Технический результат - повышение точности измерения ПТХ в начале разогрева ЦИС.

Технический результат достигается тем, что в способе измерения переходной тепловой характеристики цифровых интегральных схем, в котором на цифровую интегральную схему подают питающее напряжение заданного значения, разогревают цифровую интегральную схемы ступенькой электрической греющей мощности путем включения нечетного количества логических элементов по схеме кольцевого генератора, измеряют в процессе разогрева в заданные моменты времени ti мгновенную потребляемую мощность и температурочувствительный параметр, температурный коэффициент которого известен, рассчитывают среднюю мощность потребления цифровой интегральной схемой за время от начала нагрева t0=0 до момента времени ti, определяют значение переходной тепловой характеристики как отношение приращения температурочувствительного параметра к известному температурному коэффициенту и к средней потребленной мощности для каждого заданного момента времени ti, отличие заключается в том, что один логический элемент цифровой интегральной схемы поддерживают в заданном логическом состоянии, и в качестве температурочувствительного параметра измеряют напряжение на выходе логического элемента, состояние которого задано, а значение переходной тепловой характеристики в момент времени ti находят по формуле

где Uвых(0) и Uвых(ti) - выходное напряжение логического элемента, логическое состояние которого задано, в моменты времени t0=0 и ti, соответственно, КU - температурный коэффициент выходного напряжения логического элемента, Pcp(ti)=[Р(0)+Р(ti)]/2 - средняя мощность, потребляемая цифровой интегральной схемой за время от начала нагрева до момента времени ti, а Р(0) и P(ti) - мгновенная мощность, потребляемая цифровой интегральной схемой в моменты времени t0=0 и ti, соответственно.

Сущность изобретения состоит в следующем. Несколько логических элементов (ЛЭ) контролируемой ЦИС соединяют по схеме КГ. При подключении ЦИС к источнику питания КГ начинает генерировать колебания на частоте, близкой к предельной частоте ЦИС, ЦИС начнет потреблять электрическую мощность от источника питания для поддержания этих колебаний и будет разогреваться этой мощностью.

В известном способе в качестве ТЧП используется частота колебаний КГ, которая слабо уменьшается с ростом температуры из-за увеличения времени задержки сигнала в ЛЭ ЦИС. В начале нагрева ЦИС измерение частоты колебаний КГ необходимо проводить как можно быстрее, однако с уменьшением времени измерения погрешность измерения частоты возрастает. Для уменьшения погрешности измерения ПТХ ЦИС в начале нагрева, в предлагаемом способе в качестве ТЧП измеряется напряжение Uвых на выходе ЛЭ, логическое состояние которого задано. Измерение этого напряжения может осуществляться с помощью аналого-цифрового преобразователя (АЦП). Быстродействие (время преобразования tпр) современных АЦП на несколько порядков лучше, чем у частотомеров, и составляет доли микросекунд. При известном температурном коэффициенте КU напряжения на выходе ЛЭ приращение температуры перехода в момент времени ti определяется по формуле .

В прототипе показано, что при расчете значений H(ti) ПТХ необходимо использовать не мгновенное значение, а значение средней потребляемой ЦИС мощности за время от t0=0 до , где Uпит - напряжение питания ЦМС, - средний ток потребления ЦИС.

Таким образом, значение ПТХ в момент времени ti определяется по формуле

Изменение температуры кристалла за время tпр преобразования АЦП определяется выражением

,

и при условии tпр<<<τТкр относительная систематическая погрешность измерения ПТХ в начале нагрева ε=δθ/Δθкр≈tпрТкр будет во много раз меньше чем в прототипе, где она определяется отношением ТсТкр, т.к. tпр<<Тс.

Погрешность квантования АЦП, как известно, равна 0,5 единицы младшего разряда. Так, при измерении ТЧП 16-разрядным АЦП с пределом измерения 3 В, погрешность измерения составит 0,022 мВ, что при KU=2 мВ/К соответствует изменению температуры на 0,011 К. При тепловых измерениях такой погрешностью практически можно пренебречь.

Таким образом, достигается технический результат способа - повышение точности измерения ПТХ в начале разогрева ЦИС.

На фиг. 1 приведена структурная схема устройства, реализующего предложенный способ, а на фиг. 2 - эпюры сигналов, поясняющие сущность способа и принцип работы устройства.

Устройство содержит контролируемую ЦИС 1, нечетное количество ЛЭ (ЛЭ1-ЛЭn) которой соединены по схеме КГ и один ЛЭ (ЛЭq), выходное напряжение которого используется в качестве ТЧП, источник 2 питания, блок управления 3, сопротивление нагрузки 4, преобразователь 5 тока в напряжение в цепи питания ЦИС, первый АЦП 6, первое оперативное запоминающее устройство (ОЗУ) 7, второй АЦП 8, второе ОЗУ 9, вычислитель 10, индикатор 11, шину управления 12 и шину данных 13.

Работа устройства показана на примере измерения ПТХ КМОП ЦИС. В качестве ТЧП выбрано напряжение логической единицы ЛЭ с отрицательным температурным коэффициентом напряжения KU.

Устройство работает следующим образом. Блок управления 3 в момент времени t0=0 формирует импульс UУ1 цикла измерения длительностью ТЦ (фиг. 2, а), достаточной для достижения стационарного теплового режима ЦИС, который поступает на вход первого ЛЭ в составе КГ контролируемой ЦИС 1. КГ начинает генерировать импульсы с частотой следования ƒКГ (фиг. 2, б), которая близка к предельно допустимой для данного типа ЦИС, и ЦИС будет заметно разогреваться поглощаемой мощностью. Изменение температуры Δθn(t) перехода ЦИС показано на фиг. 2в. С другого выхода блока управления 3 на первый АЦП 6 и второй АЦП 8 в заданные моменты времени ti подаются короткие управляющие импульсы UУ2 для запуска АЦП (см. фиг. 2г).

Увеличение температуры кристалла приводит к уменьшению напряжения на выходе ЛЭq (см. фиг. 2д), которое с сопротивления 4 нагрузки Rн подается на первый АЦП 6. Преобразователь 5 тока в напряжение с внутренним сопротивлением R в цепи питания ЦИС преобразует ток потребления в напряжение UR, которое подается на второй АЦП 8. По сигналу управляющих импульсов UУ2 происходит преобразование напряжений Uвых и UR в коды, которые по команде блока управления 3 через шину управления 12 передаются по шинам данных 13 на первое ОЗУ 7 и на второе ОЗУ 9, соответственно. Вычислитель 10 за время между управляющими импульсами UУ2 определяет средний ток, потребляемый ЦИС, по формуле , рассчитывает значение ПТХ по формуле и передает массив данных {ti, H(ti)} на индикатор 11, который отображает эту информацию в удобной для оператора форме.


СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕХОДНОЙ ТЕПЛОВОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЦИФРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕХОДНОЙ ТЕПЛОВОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЦИФРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕХОДНОЙ ТЕПЛОВОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЦИФРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕХОДНОЙ ТЕПЛОВОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЦИФРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕХОДНОЙ ТЕПЛОВОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЦИФРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-10 из 216.
25.08.2017
№217.015.cbd0

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к способу нанесения износостойкого покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия. Сначала наносят нижний слой из нитрида циркония. Затем наносят верхний слой из нитрида соединения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002620529
Дата охранного документа: 26.05.2017
25.08.2017
№217.015.cbf7

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия. Сначала наносят нижний слой из нитрида титана. Затем наносят верхний слой из нитрида соединения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002620528
Дата охранного документа: 26.05.2017
25.08.2017
№217.015.cbf9

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия. Сначала наносят нижний слой из нитрида хрома. Затем наносят верхний слой из нитрида соединения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002620532
Дата охранного документа: 26.05.2017
25.08.2017
№217.015.cc62

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия, при котором сначала наносят нижний слой из нитрида хрома, затем наносят верхний слой из нитрида...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002620531
Дата охранного документа: 26.05.2017
25.08.2017
№217.015.cc8e

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия. Сначала наносят нижний слой из нитрида ниобия. Затем наносят верхний слой из нитрида соединения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002620530
Дата охранного документа: 26.05.2017
25.08.2017
№217.015.cca6

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к области металлургии, а именно к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент, и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия. Сначала наносят нижний слой из нитрида титана. Затем наносят...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002620527
Дата охранного документа: 26.05.2017
26.08.2017
№217.015.d7c6

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к области металлургии, а именно к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент, и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия. Наносят нижний слой из нитрида циркония. Затем наносят верхний...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002622533
Дата охранного документа: 16.06.2017
26.08.2017
№217.015.d7d2

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия. Сначала наносят нижний слой из нитрида циркония. Затем наносят верхний слой из нитрида соединения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002622531
Дата охранного документа: 16.06.2017
26.08.2017
№217.015.d7d6

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к способу нанесения износостойкого покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия. Сначала наносят нижний слой из нитрида циркония. Затем наносят верхний слой из нитрида соединения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002622537
Дата охранного документа: 16.06.2017
26.08.2017
№217.015.d7ee

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Изобретение относится к области металлургии, а именно к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент, и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия. Сначала наносят нижний слой из нитрида ниобия. Затем наносят...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002622543
Дата охранного документа: 16.06.2017
Показаны записи 1-10 из 38.
10.02.2013
№216.012.2492

Стабилизатор переменного напряжения

Изобретение относится к электротехнике и может найти применение в устройствах электропитания аппаратуры различного назначения. Технический результат заключается в уменьшении погрешности стабилизации. Такой результат достигается тем, что в стабилизатор переменного напряжения, содержащий...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474864
Дата охранного документа: 10.02.2013
20.09.2013
№216.012.6a98

Ультрафиолетовый светодиодный облучатель

Изобретение предназначено для отверждения ультрафиолетовым излучением полимерных материалов и может быть использовано, в частности, при изготовлении изделий цилиндрической формы и при ремонте поврежденных участков трубопроводов. Изобретение обеспечивает отверждение цилиндрических изделий из...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492939
Дата охранного документа: 20.09.2013
27.09.2013
№216.012.7071

Регулятор переменного напряжения

Изобретение относится к области электротехники и может найти применение в системах прецизионного регулирования технологических параметров, в частности в регуляторах температуры. Технический результат - повышение стабильности действующего значения напряжения на выходе регулятора. Регулятор...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002494436
Дата охранного документа: 27.09.2013
10.12.2013
№216.012.8a90

Стабилизатор переменного напряжения

Изобретение относится к электротехнике и может найти применение в устройствах электропитания аппаратуры различного назначения. Техническим результатом предлагаемого изобретения является уменьшение погрешности стабилизации. Cтабилизатор переменного напряжения содержит регулирующий орган...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002501154
Дата охранного документа: 10.12.2013
20.11.2014
№216.013.082f

Устройство для импульсного регулирования температуры многозонной электропечи сопротивления

Изобретение относится к электротехнике и может найти применение в регуляторах электрической энергии прецизионного технологического оборудования, например в установках выращивания сапфира. Техническим результатом является снижение пульсаций температуры в зонах регулирования электропечи....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002533496
Дата охранного документа: 20.11.2014
20.11.2014
№216.013.0929

Цифровой измеритель мощности

Изобретение относится к электротехнике и может найти применение в различных устройствах электропитания систем электроснабжения. Технический результат изобретения выражается в уменьшении погрешности измерения в цепях с реактивной мощностью. Цифровой измеритель мощности включает электроприемник и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002533746
Дата охранного документа: 20.11.2014
27.11.2014
№216.013.0b11

Устройство для отверждения изделий из полимерных материалов ультрафиолетовым излучением

Устройство относится к установкам для отверждения полимерных материалов на основе полиэфирных смол ультрафиолетовым излучением и может быть использовано при изготовлении изделий со сложной поверхностью. Устройство для отверждения изделий из полимерных материалов ультрафиолетовым излучением...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534241
Дата охранного документа: 27.11.2014
10.01.2015
№216.013.17cb

Способ определения напряжения локализации тока в мощных вч и свч биполярных транзисторах

Изобретение относится к технике измерения предельных параметров мощных биполярных транзисторов и может использоваться на входном и выходном контроле их качества. Способ основан на использовании известного эффекта резкого изменения крутизны зависимости напряжения на эмиттерном переходе при...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002537519
Дата охранного документа: 10.01.2015
10.03.2015
№216.013.2f09

Регулятор реактивной мощности

Изобретение относится к электротехнике и может найти применение в устройствах электропитания технологического оборудования, в частности нагревателей прецизионных электропечей. Технический результат - повышение точности регулирования. Технический результат достигается тем, что в известный...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002543509
Дата охранного документа: 10.03.2015
20.03.2015
№216.013.33cb

Стабилизатор переменного напряжения

Изобретение относится к электротехнике и может найти применение в устройствах электропитания аппаратуры различного назначения. Техническим результатом является уменьшение динамической погрешности стабилизации. Для этого в стабилизатор переменного напряжения, содержащий регулирующий орган...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002544734
Дата охранного документа: 20.03.2015
+ добавить свой РИД