МНОГОКОНТАКТНЫЙ ЗОНД ДЛЯ ИСПЫТАНИЯ ПЛАНАРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Изобретение относится к электронной технике, а именно к устройствам для испытания планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых пластинах.

Известно многоконтактное зондовое устройство для подключения электрического испытательного оборудования к избранным точкам на малых планарных приборах интегральной схемы на полупроводниковой пластине, содержащее гибкую диэлектрическую пластину с системой контактов, держатель гибкой диэлектрической пластины, приспособление, позволяющее выгибать гибкую диэлектрическую пластину с целью приведения в соприкосновение контактов контактного устройства с контактными площадками планарных элементов интегральной схемы [1]. Для визуального совмещения контактов и контактных площадок планарных элементов интегральной схемы гибкую диэлектрическую пластину выполняют из прозрачного или полупрозрачного диэлектрика.

Однако конструкция данного устройства сложна и дорога для испытания интегральных схем, где требуется меньшее количество контактов, например порядка десяти.

Известен многоконтактный зонд для испытания планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых пластинах, содержащий диэлектрическую - сапфировую пластину с микрополосковыми металлическими проводниками на ней. Микрополосковые металлические проводники соединены на одном конце диэлектрической - сапфировой пластины со средствами связи (провода, микрокоаксиалы, разъемы) с испытательным оборудованием, а на другом конце диэлектрической - сапфировой пластины микрополосковые металлические проводники имеют средства контактирования - контактные бугорки для подключения к контактным площадкам планарных элементов интегральных схем - прототип [2].

Недостатком данной конструкции многоконтактного зонда является недостаточная гибкость и хрупкость упомянутой диэлектрической - сапфировой пластины с микрополосковыми металлическими проводниками на ней, что приводит к ускоренному износу средств контактирования - контактных бугорков и/или к поломке диэлектрической-сапфировой пластины с микрополосковыми металлическими проводниками на ней.

Другим недостатком является невозможность ремонта - требуется замена всего зонда в целом.

Техническим результатом изобретения является повышение прочности и долговечности многоконтактного зонда для испытания планарных элементов интегральных схем и возможность восстановления его работоспособности, а следовательно, снижение эксплуатационной стоимости.

Технический результат достигается тем, что в известном многоконтактном зонде для испытания планарных элементов интегральных схем, содержащем корпус с крышкой, расположенную в нем диэлектрическую пластину с микрополосковыми металлическими проводниками на ней, которые на одном конце диэлектрической пластины соединены со средствами связи с испытательным оборудованием, а на другом конце диэлектрической пластины имеют средство для контактирования с контактными площадками планарных элементов интегральных схем, средство для контактирования с контактными площадками планарных элементов интегральных схем выполнено в виде съемного блока, представляющего собой систему плоских упругих металлических полосковых проводников типа гребенки, одни концы которых закреплены на поперечной пластине из диэлектрика и осуществляют контакт с микрополосковыми металлическими проводниками на диэлектрической пластине, а другие концы плоских упругих металлических полосковых проводников осуществляют контактирование с контактными площадками планарных элементов интегральных схем, при этом поперечная пластина из диэлектрика выполнена шириной более 1/3 ее длины.

Поперечная пластина из диэлектрика в сменном блоке может быть выполнена из плотного ламинированного картона.

Многоконтактный зонд для испытания планарных элементов интегральных схем может быть снабжен держателем, обеспечивающим наклон оси зонда на угол около 30 градусов по отношению к плоскости интегральной схемы.

Количество плоских упругих металлических полосковых проводников, их размеры и зазоры между ними задаются конкретными условиями испытания.

Выполнение средств для контактирования в виде съемного блока, представляющего собой систему плоских упругих металлических полосковых проводников типа гребенки, одни концы которых закреплены на поперечной пластине из диэлектрика и осуществляют контакт с микрополосковыми металлическими проводниками на диэлектрической пластине, а другие концы плоских упругих металлических полосковых проводников осуществляют контактирование с контактными площадками планарных элементов интегральных схем, при этом поперечная пластина из диэлектрика выполнена шириной более 1/3 ее длины, дает возможность:

во-первых, снизить благодаря упругости этих проводников механические нагрузки на контактные площадки планарных элементов интегральных схем и, следовательно, повысить надежность и долговечность многоконтактного зонда,

во-вторых, диэлектрическая пластина с микрополосковыми проводниками на ней не подвергается изгибам и, следовательно, дополнительно повышается договечность многоконтактного зонда,

в-третьих, возможность восстановления работоспособности зонда путем замены съемного блока новым съемным блоком обеспечивает снижение эксплуатационной стоимости многоконтактного зонда.

Выполнение поперечной пластины из диэлектрика шириной более 1/3 ее длины обеспечивает достаточную прочность съемного блока.

Изобретение поясняется чертежом, (а, б, в), где

а - общий вид многоконтактного зонда;

б - вид многоконтактного зонда при снятой крышке;

в - вид съемного блока со стороны плоских упругих металлических полосковых проводников.

На чертеже (а, б, в) обозначены:

- корпус - 1,

- крышка - 2,

- диэлектрическая пластина с микрополосковыми проводниками - 3,

- микрополосковые металлические проводники - 4,

- средства связи с испытательным оборудованием - 5, съемный блок в составе:

- плоские упругие металлические полосковые проводники - 6,

- поперечная пластина из диэлектрика - 8,

- контактные площадки планарных элементов интегральных схем - 7,

- держатель многоконтактного зонда - 9.

Пример конкретного выполнения и работы многоконтактного зонда, осуществляющий контакт, например, с десятью контактными площадками планарных элементов интегральных схем.

Выполняют корпус 1 многоконтактного зонда из прутка латуни марки ЛС59-1 и крышку 2 из стали марки 9ХС.

Выполняют по стандартной групповой технологии диэлектрическую пластину 3 с микрополосковыми проводниками 4 размером 15×6,5×1 мм. Диэлектрическую пластину 3 с микрополосковыми проводниками 4 вклеивают в корпус 1 и производят распайку средств связи 5 (провода, разъемы) с испытательным оборудованием.

Выполняют съемный блок следующим образом:

- плоские упругие металлические полосковые проводники 6 выполняют из ленты бронзы марки БрБ2 толщиной 0,2 мм,

- поперечную пластину из диэлектрика 8 размерами 6,5×3×0,5 мм выполняют из плотного ламинированного картона,

- закрепляют плоские упругие металлические полосковые проводники 6 на поперечной пластине из диэлектрика 8 путем наклеивания клеем «Момент».

Осуществляют контакт концов плоских упругих металлических полосковых проводников 6, закрепленных на поперечной пластине из диэлектрика 8, с микрополосковыми проводниками 4 на диэлектрической пластине 3 и зажимают крышкой 2.

Многоконтактный зонд в держателе 9 закрепляют в испытательном оборудовании, подключают электрические средства связи - провода и разъемы 5 с испытательным оборудованием и осуществляют одновременное касание других концов плоских упругих металлических полосковых проводников 6 с контактными площадками планарных элементов интегральных схем 7 и проводят соответствующие испытания.

Таким образом, предложенная конструкция многоконтактного зонда для испытания планарных элементов интегральных схем обеспечит по сравнению с прототипом повышение прочности и долговечности многоконтактного зонда и возможность восстановления его работоспособности, а следовательно, снижение его эксплуатационной стоимости.

Это делает его особенно перспективным в качестве замены дорогих зарубежных аналогов.

ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ

1. Патент США № 4649339, МПК G 01 R 31/02, НКИ 324/158 F, опубл. 10.03.87 г.

2. Патент США № 4697143, МПК G 01 R 31/00, НКИ 324/158 F, опубл. 29.09.87 г.