×
27.06.2019
219.017.96c9

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ НАПЫЛЯЕМЫХ ПЛЕНОК

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть

Правообладатели

№ охранного документа
0000216275
Дата охранного документа
17.07.1968
Реферат Свернуть Развернуть

Известен способ контроля толщины тонких пленок, заключающийся в том, что одновременно с напылением на подложку производят напыление на контрольный образец, освещают последний, регистрируют разность фотоэлектрических сигналов, позволяющих судить о приближении к экстремуму, на длине волны, соответствующей экстремальному значению пропускания или отражения для заданной толщины, и по нулевому значению указанной разности судят о достижении требуемой толщины. При этом производится запоминание предыдущих значений сигналов и сравнивание их с последующими, что связано с наличием запоминающих узлов в устройствах для осуществления указанного способа.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что уменьшают количество вещества, напыляемого на один участок контрольного образца, относительно вещества, напыляемого на другом участке, и для получения указанной разности сигналов используют пропускание или отражение света от обоих участков.

Это позволяет упростить конструкцию устройства при сохранении высокой точности.

В процессе напыления уменьшение количества вещества, напыляемого на один участок образца, относительно вещества, напыляемого на другом участке, достигается, например, установкой между образцом и источником напыления вращающегося прерывателя, который экранирует часть образца. Толщина пленки на этой части образца на величину Δd меньше толщины на неэкранированной прерывателем части.

Пока идет напыление, измеряют на длине волны, соответствующей экстремальному значению пропускания или отражения света для заданной толщины, разность сигналов от участка с толщиной d и d-Δd. В тот момент, когда толщины пленки на образце достигнут такого значения, что их среднее арифметическое будет равно толщине, соответствующей экстремуму пропускания или отражения, разность измеряемых сигналов станет равной нулю. При этом толщина изготавливаемой пленки будет больше требуемой на величину Δd/2, что характеризует точность ее изготовления. Если величина Δd/2, определяющая инструментальную ошибку устройства, выше допустимой, то она может быть снижена или вообще исключена, например, уменьшением на соответствующую величину длины волны, на которой ведется измерение.

Способ контроля толщины напыляемых пленок с использованием устройства, реагирующего на интенсивность света определенной длины волны, заключающийся в том, что одновременно с напылением на подложку производят напыление на контрольный образец, освещают последний, на длине волны, соответствующей экстремальному значению пропускания или отражения света для заданной толщины, регистрируют разность фотоэлектрических сигналов, позволяющих судить о приближении к экстремуму, и по нулевому значению указанной разности судят о достижении требуемой толщины, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции устройства, уменьшают количество вещества, напыляемого на один участок контрольного образца, относительно вещества, напыляемого на другом участке, и для получения указанной разности сигналов используют пропускание или отражение света от обоих участков.
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-1 из 1.
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0000214094
Дата охранного документа: 05.06.1968
+ добавить свой РИД