Результат интеллектуальной деятельности: РАДИАЦИОННАЯ СУШИЛКА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ
Вид РИД
Изобретение
Известны радиационные сушилки для полупроводниковых изделий, содержащие камеру, разделенную светофильтром на отсеки, один из которых оборудован инфракрасными излучателями, а другой подключен к вакуумному насосу и снабжен загрузочным люком с герметичной крышкой.
Предлагаемая сушилка позволяет повысить качество сушки.
Ее особенность заключается в том, что на крышке с внутренней стороны шарнирно укреплена рама с натянутой на нее пленкой из малотеплопроводного материала, например фторопласта, для размещения высушиваемых изделий.
На чертеже изображена описываемая радиационная сушилка.
Сушилка содержит камеру, разделенную светофильтром 1 на отсеки. Отсек 2 оборудован инфракрасными излучателями 3 с отражателями 4, а отсек 5 подключен к вакуумному насосу (на чертеже не показан) и снабжен загрузочным люком 6 с герметичной крышкой 7. На крышке с помощью шарнира 8 укреплена рама 9 с натянутой на нее пленкой 10, на которой размещены высушиваемые изделия 11. Пленка выполнена из малотеплопроводного и малотеплоемкого материала, например фторопласта. Размещение изделий на пленке исключает контактный нагрев, повышается равномерность облучения и предотвращается брак высушиваемых изделий.
Радиационная сушилка для полупроводниковых изделий, содержащая камеру, разделенную светофильтром на отсеки, один из которых оборудован инфракрасными излучателями, а другой подключен к вакуумному насосу и снабжен загрузочным люком с герметичной крышкой, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества сушки, на крышке с внутренней стороны шарнирно укреплена рама с натянутой на нее пленкой из малотеплопроводного материала, например фторопласта, для размещения высушиваемых изделий.
