Вид РИД
Изобретение
Известно устройство для испарения веществ в вакууме, включающее тигель из тугоплавкого металла, выполненный в виде вертикально установленного цилиндра с дном и укрепленный между токовводами.
Предложенное устройство отличается от известного тем, что тигель выполнен с отношением длины цилиндрической части к диаметру не менее 12. Коаксиально тиглю расположен цилиндр из одноименного материала, соединенный с ним в верхней части посредством усеченного конуса, причем тигель и коаксиальный ему цилиндр установлены на расположенных под ними токовводах при помощи разъемных соединений. Такое выполнение устройства увеличивает длительность испарения веществ в вакууме.
На чертеже изображено описываемое устройство.
Оно содержит тигель 1, коаксиально которому установлен цилиндр 2, соединенный в верхней части с тиглем посредством усеченного конуса 3. Тигель и цилиндр выполнены из тугоплавкого металла и установлены на токовводах 4 и 5 при помощи разъемных, например резьбовых, соединений. Токовводы скреплены между собой с помощью болтов 6 и разделены изоляционными прокладками 7. Коаксиально цилиндру в полость корпуса 8 установлены теплоизоляционные экраны 9, выполненные из термостойкого диэлектрического материала.
Устройство, помещенное в вакуумную камеру, нагревают пропусканием тока через тигель и коаксиальный ему цилиндр до заданной температуры. Расплавленное вещество испаряется с поверхности, имеющей, вследствие малого диаметра тигля (1-10 мм), форму выпуклого или вогнутого мениска. В верхней части тигля происходит больший нагрев, в связи с чем вещество интенсивно испаряется в зоне смачивания стенок тигля расплавом.
В процессе испарения исходное вещество может добавляться в тигель сверху.
Устройство для испарения веществ в вакууме, включающее тигель в виде вертикально установленного цилиндра с дном, выполненный из тугоплавкого металла и соединенный с токовводами, отличающееся тем, что, с целью увеличения длительности испарения, тигель выполнен с отношением длины цилиндрической части к диаметру не менее 12, коаксиально тиглю расположен цилиндр из одноименного материала, соединенный с ним в верхней части посредством усеченного конуса, причем тигель и коаксиальный ему цилиндр установлены на расположенных под ними токовводах при помощи разъемных соединений.