ЗАЩИТНОЕ УСТРОЙСТВО

Известны защитные устройства для предотвращения попадания паров рабочего вещества из диффузионного насоса в откачиваемый объем, содержащие корпус и размещенные в нем ловушку в виде охлаждаемого, например жидким азотом, двухстенного цилиндра с отверстием для прохода откачиваемых газов и вакуумный вентиль с клапаном, герметично отделяющим насос от откачиваемого объема.

В предлагаемом устройстве вентиль размещен в свободном пространстве ловушки, и для компактности устройства его клапан установлен с возможностью перемещения по осевой направляющей. Ловушка и вентиль снабжены индивидуальными фланцами для крепления их в корпусе, что позволяет упростить конструкцию устройства и обеспечить возможность очистки его рабочих поверхностей без разборки всей, вакуумной системы.

На чертеже изображено описываемое устройство в продольном разрезе и вид по стрелке А.

В корпусе 1 устройства размещена ловушка 2 в виде двухстенного цилиндра, охлаждаемого жидким азотом и имеющего отверстие, перекрытое шевронными жалюзи 3, для прохода откачиваемых газов. В свободном пространстве ловушки расположен вакуумный вентиль 4 с тарельчатым клапаном 5, перемещающимся по осевой направляющей 6, обеспечивающей точное совмещение уплотняющих поверхностей клапана и седла 7 для герметичного отделения насоса от откачиваемого объема.

К диффузионному насосу устройство крепится при помощи фланца 8, а к объему - при помощи фланца 9, на котором укреплено антимиграционное устройство 10 в виде набора колец из листовой меди.

Для свободного доступа к внутренним поверхностям устройства вентиль и ловушка снабжены индивидуальными фланцами 11 и 12 для их крепления в корпусе. В местах соединения узлов устройства предусмотрены уплотнительные прокладки 13, 14, 15 и 16, которые могут быть изготовлены из вакуумной резины, фторопласта и т.п. материалов. Положение осевой направляющей 6 фиксируется при помощи ребер 17.