Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ФИКСИРОВАНИЯ ПОЛОЖЕНИЯ ПРОЗРАЧНОГО ШТРИХА

В настоящее время для фиксирования положения штриха при точных измерениях используют оптические и фотоэлектрические микроскопы.

Предложенный способ фиксирования положения прозрачного штриха предназначен для фиксирования положения прозрачного штриха на непрозрачном фоне, в частности, при линейных и угловых измерениях высокой точности.

Он позволяет повысить точность фиксации прозрачного штриха по сравнению с обычными оптическими измерениями, повысить надежность и упростить фиксирование штриха по сравнению с фотоэлектрическими измерениями на фотоэлектрических микроскопах.

Предложенный способ отличается от известного тем, что на прозрачный штрих проектируют интерференционную картину, у которой разность хода изменяется в направлении, перпендикулярном штриху. Из этой картины штрихом выделяют зону с определенной разностью хода. Свет, пропущенный штрихом, направляют на интерференционное устройство, в котором образуются полосы равной толщины. С помощью этого устройства компенсируют разность хода в световом пучке и получают интерференционную картину полос переналожения с ахроматической полосой, по положению которой определяют положение штриха.

На чертеже изображена одна из оптических схем установки для фиксирования положения штриха.

Источник света 1 с помощью конденсатора 2 освещает интерференционный клин 3. В результате явления многолучевой интерференции получают интерференционную картину полос равной толщины, локализованную на клине. Каждой зоне интерференционной картины полос равной толщины соответствует определенная толщина клина и, следовательно, определенная разность хода интерферирующих пучков.

С помощью линзы 4 эту интерференционную картину проектируют в плоскость расположения прозрачного штриха 5. Интерференционные полосы при этом располагают параллельно направлению штриха и выделяют штрихом из интерференционной картины зону с определенной разностью хода. Свет, прошедший через штрих, направляют на интерференционное устройство, которое представляет собой два интерференционных клина 6-7 и 6-8. В определенной зоне каждого из этих клиньев, разность хода в которой равна разности хода в выделенной штрихом зоне интерференционной картины, происходит компенсация разности хода лучей в световом пучке. При этом получают интерференционную картину полос переналожения и в зоне полной компенсации получают ахроматическую полосу. Штрих перемещают до такого положения, когда ахроматические полосы на клиньях 6-7 и 6-8 совпадают.

Это совпадение ахроматических полос является индикатором фиксированного положения штриха. Этому положению соответствует выделение зоны интерференционной картины, для которой толщина интерференционного клина 3 соответствует толщине клиньев 6-7 и 6-8 на линии их пересечения.

Предложенный способ позволяет осуществлять фиксирование положения прозрачного штриха с высокой точностью.