Вид РИД
Изобретение
Изобретение относится к области изучения спектров потоков заряженных частиц.
В известных спектрометрах электронов малых энергий для эффективной регистрации электронов необходимо после анализатора устанавливать дополнительные сетки, образующие в сочетании с фольгой, закрывающей сцинтилляционный кристалл, ускоряющий промежуток. Это приводит к возникновению автоэлектронной эмиссии с сетки и окружающих электродов и к появлению значительного фона.
В предложенном спектрометре уменьшен фон и увеличена чувствительность регистрации благодаря тому, что непосредственно на фольге установлен цилиндр из диэлектрика, закрытый на противоположном от фольги конце крышкой с отверстием в центре для прохода электронов.
На чертеже показано описываемое устройство.
Пучок 1 заряженных частиц коллимируется коллиматором 2. Отсекатель плазмы 3 выделяет электроны, которые анализируются электростатической отклоняющей системой 4.
Ускоряющая система состоит из корпуса 5, внутри которого ускоряющий промежуток образован заземленной сеткой 6 и закрывающей световод 7 с сцинтиллирующим кристаллом 8 фольгой 9, находящейся под положительным потенциалом. Цилиндр 10 из диэлектрика с крышкой 11 установлен непосредственно на фольге 9. Сцинтилляции регистрируются фотоумножителем 12.
Спектрометр электронов малых энергий, содержащий коллиматор, установленный перед отсекателем проникающей плазмы, электростатическую отклоняющую систему, установленную за ней систему ускорения электронов в виде корпуса, внутри которого размещена заземленная металлическая сетка и фольга, подключенная к источнику положительного потенциала, которая размещена непосредственно на кристалле сцинтилляционного счетчика, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности регистрации и снижения фона, непосредственно на фольге установлен цилиндр из диэлектрика, закрытый на противоположном от фольги конце крышкой с отверстием в центре для прохода электронов.