СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
Вид РИД
Изобретение
Известны способы измерения малых перемещений с помощью фотоэлектрических интерферометров, основанные на счете интерференционных полос.
Известны также способы, основанные на фазовой модуляции светового потока, выходящего из интерферометра.
Недостатком известных способов является их невысокая точность, в особенности при отсчете доли интерференционной полосы.
С целью повышения точности отсчета предложен способ, основанный на точном наведении системы, содержащей интерферометр в нулевое положение.
Измерение перемещения с точностью до долей полуволны производится от ближайшего нулевого положения путем смещения интерференционной полосы относительно диафрагмы интерферометра (или диафрагмы относительно интерференционной полосы). Это смещение осуществляется механизмом, аналогичным механизму, приводящему полосы в колебательное движение для фазовой модуляции светового потока.
Измерение тока (или напряжения), необходимого для смещения индикаторного элемента (например, зеркала) до нулевого положения, позволяет судить о величине перемещения зеркала интерферометра.
Предложенный способ в сочетании с устройством для счета полос позволяет построить цифровой интерферометр с визуальным или автоматическим отсчетом.
Способ измерения перемещений с помощью фотоэлектрических интерферометров, основанный на счете интерференционных полос, отличающийся тем, что, с целью повышения точности отсчета дробной части интерференционной полосы, индикаторный элемент, например зеркало, перемещают до нулевого положения, измеряют ток или напряжение, необходимые для этого перемещения, и по результатам измерения этих электрических параметров судят о величине перемещения зеркала интерферометра.
