Вид РИД
Изобретение
Изобретение касается центрировки электронного луча в электромагнитных электронных линзах соответствующих приборов, например электронных микроскопов.
Существующие способы центрировки электронного луча посредством смещения линз друг относительно друга сложны и не всегда обеспечивают необходимую точность. Предлагаемый способ прост, точен и может быть использован для юстировки как электронных линз, так и других электронно-лучевых приборов.
Сущность предлагаемого способа заключается в том, что наблюдая за электронным лучом, его направляют по оси системы, вращая расположенные парой на внешнем кожухе системы клиновидные железные кольца.
На фиг. 1 изображена схема расположения этих колец для панцирной электромагнитной электронной линзы с полюсными наконечниками; на фиг. 2 - для такой же линзы без полюсных наконечников. На фиг. 3 - пара колец в разрезе.
Каждое клиновидное кольцо изготовляется из железа «Армко А» (ТУ 235 ММП) и дополняется до цилиндрической формы путем спайки с таким же клиновидным кольцом из латуни ЛС 59-1.
Кольца располагаются на внешнем кожухе линзы одно под другим со свободой вращения вокруг линзы; в нужном положении кольца закрепляются стопорами. Размеры и место расположения пары колец на кожухе линзы определяются в зависимости от конструкции линзы, однако оба железных кольца пары и их латунные дополнения должны быть по размерам и форме одинаковыми. Увеличение массы железа и угла клина колец увеличивает отклоняющее действие колец на электронный луч.
Способ центрировки электронного луча электронных линз, отличающийся тем, что, с целью достижения точной центрировки луча путем деформирования электромагнитного поля, линзы применяют клиновидные или эксцентрические, поворачиваемые кольца из железа, например, марки «Армко А», установленные на наружном кожухе панциря электронной линзы.