Результат интеллектуальной деятельности: УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ ВЕЩЕСТВ В ВАКУУМЕ

Известны устройства для испарения веществ в вакууме, состоящие из нагревателя, подложки и помещенного в замкнутый объем, создаваемый экраном, тигля с испаряемым веществом. Пары испаряемого вещества через выводные каналы экрана поступают к подложке.

Отличием описываемого устройства является то, что оно снабжено установленными на выходе выводных каналов экрана отклоняющими пластинами, отводящими из потока паров вторичные и рассеянные электроны в коллекторы. Это позволяет устранить неконтролируемый нагрев деталей устройства при использовании электроннолучевого нагревателя.

На чертеже изображен общий вид описываемого устройства.

Тигель 1 с испаряемым веществом 2 помещен в замкнутый объем, создаваемый металлическим экраном 3 с выводными каналами 4 для выхода потоков паров к подложке 5 и датчику 6 прибора для измерения скорости испарения. Нагрев испаряемого вещества производится электроннолучевым нагревателем 7. Электронный луч вводится в полость экрана через канал 8. Рассеянные и вторичные электроны, вылетающие из выводных каналов экрана вместе с потоками паров, отклоняются электрическим полем отклоняющих пластин 9, на которых создается соответствующая разность потенциалов, и отводятся на коллекторы 10, выполненные в виде закрытых с одной стороны трубок из токопроводящего материала. Коллекторы соединены с корпусом вакуумной камеры испарителя.

Отвод электронов из потока пара испаряемого вещества устраняет неконтролируемый нагрев подложки, датчиков измерительных приборов и других деталей устройства и препятствует появлению на изолированных деталях зарядов и возникновению электрических разрядов в рабочем объеме.