Вид РИД
Изобретение
Известен способ экстракции тетрахлорида кремния из технического продукта с помощью органических растворителей.
Предлагаемый способ очистки тетрахлорида кремния отличается тем, что в качестве экстрагента используют о-нитроанизол. Это повышает степень очистки продукта.
Способ основан на различном взаимодействии четыреххлористого кремния и входящих в него соединений фосфора и бора с одним из органических растворителей - о-нитроанизолом.
При выборе оптимальных условий экстрагирования используется хлорид кремния, искусственно загрязненный хлоридами фосфора и бора. Концентрация примеси фосфора изменяется от 1·10-2 до 1·10-4, а примеси бора от 1·10-2 до 1·10-5%.
Для характеристики о-нитроанизола как экстрагента рассчитан коэффициент распределения, равный отношению равновесной концентрации примеси в органической фазе к равновесной концентрации примеси к фазе хлорида кремния.
Степень очистки продукта от указанных примесей подсчитывалась по формуле:

где
- концентрация примеси в фазе хлорида кремния до экстракции;
С2 - концентрация примеси в фазе хлорида кремния после экстракции.
Влияние концентрации примесей на их коэффициенты распределения изучалось при соответствующих данному экстракционному процессу оптимальных условиях, время экстрагирования 10 мин, время отстаивания фаз 5 мин. Объемное соотношение фаз 1:3 (объем органического растворителя должен втрое превышать объем хлорида кремния).
Установлена зависимость коэффициента распределения хлорида фосфора от его начальной концентрации, а именно, чем больше концентрация фосфора в исходном растворе, тем больше его коэффициент распределения.
При проведении экстракционной очистки хлорида кремния, искусственно загрязненного хлоридом бора, установлено, что коэффициент распределения последнего не зависит от его начального содержания: при любой из выбранных концентраций содержание бора в очищенном тетрахлориде кремния меньше 1·10-6%.
Разработанный экстракционный метод очистки тетрахлорида кремния от примесей фосфора и бора с помощью о-нитроанизола проверен на техническом хлориде кремния, имеющем в своем составе Р 5·10-5 и В 3·10-5%.
Осуществление экстракционного процесса в три ступени позволило получить хлорид кремния, в котором примесей фосфора и бора при существующей чувствительности методов анализа не обнаружено.
Способ очистки тетрахлорида кремния путем экстракции примесей фосфора и бора с помощью органических растворителей, отличающийся тем, что, с целью повышения степени очистки, в качестве экстрагента используют о-нитроанизол.