Вид РИД
Изобретение
Предметом изобретения является электростатическая электронная линза с повышенной пробивной прочностью.
При введении между двумя электродами тонкого слоя диэлектрика пробивное напряжение может быть повышено. В частности, повышения пробивного напряжения можно достичь путем покрытия электродов тонким слоем изоляционного лака. Однако этот метод на практике не применим, ввиду невозможности обеспечить однородность изолирующего слоя.
Отличительной особенностью предлагаемой линзы является выполнение электродов из полупроводника, преимущественно в виде толстого его слоя, расположенного на металлическом керне. При этом применяется полупроводник с диэлектрической постоянной, в несколько раз больше постоянной вакуума.
Сопротивление указанного полупроводника подбирается так, чтобы попадающие на него заряды стекали на металл электрода (керн), не создавая искажающих потенциалов и полей.
В качестве таких полупроводящих материалов для электродов можно применить естественные материалы, такие как агат, стеатит, или искусственно приготовленные массы.
Электростатическая электронная линза с электродами из полупроводящего материала имеет такое же электрическое поле, как и обычная, причем благодаря большому сопротивлению полупроводника предупреждается развитие разряда, приводящего к пробою.
Электростатическая электронная линза, отличающаяся тем, что, с целью предупреждения возникновения разряда при высоком потенциале электродов, один или несколько электродов линзы выполняются из полупроводника.