×
25.08.2017
217.015.c58d

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОТОПНООБОГАЩЕННОГО ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к получению изотопнообогащенного тетрахлорида кремния, который может быть использован для получения изотопов кремния, оптических материалов, волоконных световодов и пленок. Способ получения изотопнообогащенных тетрахлоридов кремния SiCl, SiCl, SiCl включает взаимодействие изотопнообогащенных тетрафторидов кремния SiF, SiF, SiF и хлорида алюминия(III) при температуре 250-400°C в закрытом реакторе при 2-10-кратном избытке хлорида алюминия(III) относительно стехиометрического соотношения и продолжительности контакта реагентов 30-60 ч. Изобретение обеспечивает высокий выход изотопнообогащенного тетрахлорида кремния, повышение экономичности способа и безопасность процесса. 2 пр.

Изобретение относится к неорганической химии, а именно к получению изотопнообогащенного тетрахлорида кремния SiCl4, обогащенного изотопами 28Si или 29Si или 30Si, используемого для получения указанных изотопов кремния, оптических материалов, волоконных световодов и пленок из изотопнообогащенного диоксида кремния.

Известен способ получения изотопнообогащенного тетрахлорида кремния-28 путем центробежного разделения изотопов кремния с применением в качестве рабочего вещества тетрахлорида кремния (патент Российской Федерации №2172642, МПК B01D 59/20, опубл. 27.08.2001 г.). Существенным недостатком этого способа является низкое значение выхода целевого продукта (не более 20%) и невозможность получения продукта, обогащенного изотопом кремния-29 или изотопом кремния-30.

Основным способом разделения изотопов кремния является центробежное фракционирование с использованием тетрафторида кремния, в результате которого получают 28SiF4, 29SiF4 и 30SiF4 с высоким выходом и низким содержанием примесей. Описание способов конверсии изотопнообогащенного тетрафторида кремния в тетрахлорид кремния 28SiCl4, 29SiCl4 и 30SiCl4 в литературе не приводится.

В связи с этим актуальной задачей является разработка эффективной методики конверсии изотопнообогащенного SiF4 в SiCl4, обеспечивающей высокий выход, химическую и изотопную чистоту продукта.

Известен способ получения тетрахлорида кремния по реакции тетрафторида кремния с безводными хлоридом магния или хлоридом кальция при атмосферном давлении (W.C. Schumb, D.W. Breck «Some Metathetical Reactions of the Gaseous Fluorides of Group IV», J. Amer. Chem. Soc., 1952, 74 (7), pp. 1754-1760). Недостатками способа являются: низкое значение практического выхода тетрахлорида кремния, не превышающее 11% по SiF4; проведение синтеза при повышенной температуре (выше 630°С), что приводит к дополнительным энергозатратам; неполное замещение атомов фтора на атомы хлора в тетрафториде кремния и образование хлорфторсиланов (SiClF3, SiCl2F2, SiCl3F), что обусловливает необходимость проведения дополнительных операций для выделения и очистки тетрахлорида кремния.

Наиболее близким к заявляемому способу по технической сущности и достигаемому результату, выбранным в качестве прототипа, является способ получения тетрахлорида кремния по реакции тетрафторида кремния с безводным хлоридом алюминия(III) при атмосферном давлении в проточном реакторе при 500-610°С, а также при повышенном давлении SiF4 в статических условиях при 195-250°С (W.C. Schumb, D.W. Breck «Some Metathetical Reactions of the Gaseous Fluorides of Group IV», J. Am. Chem. Soc., 1952, 74(7), pp. 1754-1760). Недостатками способа являются низкое значение выхода SiCl4 (от 23% до 83%), неполное протекание обменной реакции тетрафторида кремния и хлорида алюминия(III) и наличие хлорфторсиланов (SiCl3F, SiCl3F2, SiClF3) в получаемом тетрахлориде кремния на уровне до 45 мол. %. Отмеченные недостатки влекут необходимость проведения операций по очистке тетрахлорида кремния от указанных примесей и повышение стоимости получаемого продукта.

Задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение, является разработка способа получения изотопнообогащенного тетрахлорида кремния, с высоким выходом, направленного на упрощение и повышение экономичности способа и проведение его в условиях безопасной работы.

Техническим результатом является увеличение выхода изотопнообогащенного тетрахлорида кремния до 90% и снижение содержания примесей фторхлорсиланов до уровня 1 - 2%.

Указанный результат достигается тем, что в способе получения изотопнообогащенных тетрахлоридов кремния 28SiCl4, 29SiCl4, 30SiCl4 из неорганических соединений, в качестве неорганических соединений используют изотопнообогащенные тетрафториды кремния 28SiF4, 29SiF4, 30SiF4 и хлорид алюминия(III), взаимодействие которых проводят при температуре 250-400°С в закрытом реакторе при 2-10-кратном избытке хлорида алюмнния(III) относительно стехиометрического соотношения и продолжительности контакта реагентов 30-60 часов.

Предпочтительно использовать безводный высокочистый хлорид алюминия(III) ввиду низкого содержания соединений алюминия с кислородом, которые вызывают снижение выхода изотопнообогащенного тетрахлорида кремния вследствие протекания побочных реакций.

Предпочтительно хлорид алюминия(III) брать в 2-10-кратном избытке относительно стехиометрического, так как это соотношение обеспечивает более полную конверсию тетрафторида кремния в его тетрахлорид и низкое содержание примесей хлорфторсиланов.

Предпочтительно реакцию изотопнообогащенного тетрафторида кремния и хлорид алюминия(III) проводить в температурном интервале 250-400°С, так как при проведении реакции указанных веществ при температуре ниже 250°С увеличивается содержание примесей фторхлорсиланов в продукте и снижается выход тетрахлорида кремния, а при температуре более 400°С возможно протекание побочных реакций галогенидов кремния с материалом аппаратуры, приводящее к снижению выхода и загрязнению тетрахлорида кремния примесями металлов.

Способ осуществляют следующим образом.

В реактор из нержавеющей стали загружают безводный высокочистый хлорид алюминия(III) с содержанием основного вещества более 99% (марка «ч»); хлорид алюминия(III) берут в 2-10-кратном избытке относительно стехиометрического соотношения. Затем реактор закрывают, вакуумируют и загружают изотопнообогащенный тетрафторид кремния (28SiF4, 29SiF4, 30SiF4), полученный центробежным методом на АО «ПО Электрохимический завод» (г. Зеленогорск). Реактор нагревают до температуры 250-400°С и выдерживают в течение 30-60 часов. Затем реактор охлаждают до комнатной температуры и конденсируют газообразные продукты реакции в приемный баллон. Определение качественного и количественного состава газообразных продуктов проводят газохроматографическим методом.

Заявляемый способ обеспечивает получение изотопнообогащенного тетрахлорида кремния с практическим выходом 90±2%. Степень превращения хлорида алюминия(III), в зависимости от заданного соотношения реагентов, составляет 10-50%. Хлорид алюминия(III) берут в 2-10-кратном избытке относительно стехиометрического соотношения, так как это соотношение обеспечивает более полную конверсию тетрафторида кремния в его тетрахлорид и низкое содержание примесей хлорфторсиланов в получаемом тетрахлориде кремния. Способ осуществляют при повышенном давлении в условиях безопасной работы при получении заданного количества изотопнообогащенного тетрахлорида кремния.

Пример 1.

В реактор из нержавеющей стали объемом 1 л и внутренним диаметром 70 мм, загружают безводный хлорид алюминия(III), содержащий не более 0,01% примесей металлов, массой 340 г, реактор закрывают, вакуумируют и загружают изотопнообогащенный тетрафторид кремния-28 28SiF4 массой 20 г (10-кратный избыток хлорида алюминия(III) относительно стехиометрического соотношения); содержание изотопа 28Si в кремнии, входящем в состав 28SiF4, по данным масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой составляет 99,8781±0,0352 ат. %. Реактор нагревают до температуры 250°С и выдерживают в течение 30 часов. Затем реактор охлаждают до комнатной температуры и конденсируют газообразные продукты реакции в приемный баллон. Определение качественного и количественного состава газообразных продуктов проводят газохроматографическим методом. Содержание непрореагировавшего тетрафторида кремния и хлорфторсиланов в полученном тетрахлориде кремния-28 составляет: SiF4≤0,1 мол. %, SiClF3≤0,1 мол. %, SiCl2F2-0,3±0,1 мол. %, SiCl3F-0,4±0,1 мол. %. Практический выход тетрахлорида кремния-28 28SiCl4 составляет 90±2%; содержание изотопа 28Si в кремнии, входящим в состав 28SiCl4, по данным масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой составляет 99,8789±0,0352 ат. %.

Пример 2.

В реактор из нержавеющей стали объемом 1 л и внутренним диаметром 70 мм, загружают безводный хлорид алюминия(III), содержащий не более 0,01% примесей металлов, массой 140 г, реактор закрывают, вакуумируют и загружают изотопнообогащенный тетрафторид кремния-28 28SiF4 массой 40 г (2-кратный избыток хлорида алюминия(III) относительно стехиометрического соотношения); содержание изотопа 28Si в кремнии, входящем в состав 28SiF4, по данным масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой составляет 99,8781±0,0352 ат. %. Реактор нагревают до температуры 400°С и выдерживают в течение 60 часов. Затем реактор охлаждают до комнатной температуры и конденсируют газообразные продукты реакции в приемный баллон. Определение качественного и количественного состава газообразных продуктов проводят газохроматографическим методом. Содержание непрореагировавшего тетрафторида кремния и хлорфторсиланов SiF4-xClx в полученном тетрахлориде кремния-28 составляет: SiF4≤0,1 мол. %, SiClF3≤0,1 мол. %, SiCl2F2-0,3±0,1 мол. %, SiCl3F-0,4±0,1 мол. %.

Практический выход тетрахлорида кремния-28 28SiCl4 составляет 90±2%; содержание изотопа 28Si в кремнии, входящем в состав 28SiCl4, по данным масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой составляет 99,8789±0,0352 ат. %.

Таким образом, предлагаемый способ позволяет получать изотопнообогащенный тетрахлорид кремния с высоким выходом, пониженным содержанием примесей фторхлорсиланов до уровня 1-2% и без статистически значимого изменения изотопного состава кремния. Синтез проводят в закрытом реакторе с использованием простой металлической аппаратуры без использования дополнительных операций по фракционированию продуктов реакции.

Способ получения изотопнообогащенных тетрахлоридов кремния SiCl, SiCl, SiCl из неорганических соединений, отличающийся тем, что в качестве неорганических соединений используют изотопнообогащенные тетрафториды кремния SiF, SiF, SiF и хлорид алюминия(III), взаимодействие которых проводят при температуре 250-400°C в закрытом реакторе при 2-10-кратном избытке хлорида алюминия(III) относительно стехиометрического соотношения и продолжительности контакта реагентов 30-60 ч.
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 11-11 из 11.
13.02.2018
№218.016.1ef2

Способ получения изотопных разновидностей элементарного германия с высокой изотопной и химической чистотой

Изобретение относится к области получения высокочистых веществ и касается разработки способа получения изотопнообогащенного германия, который может быть использован в микроэлектронике, ИК-оптике, нанофотонике, фундаментальных физических исследованиях. Исходным соединением для получения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002641126
Дата охранного документа: 16.01.2018
Показаны записи 11-19 из 19.
13.02.2018
№218.016.1ef2

Способ получения изотопных разновидностей элементарного германия с высокой изотопной и химической чистотой

Изобретение относится к области получения высокочистых веществ и касается разработки способа получения изотопнообогащенного германия, который может быть использован в микроэлектронике, ИК-оптике, нанофотонике, фундаментальных физических исследованиях. Исходным соединением для получения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002641126
Дата охранного документа: 16.01.2018
10.05.2018
№218.016.3ebb

Способ получения особо чистых халькогенидных стекол системы германий-селен

Изобретение относится к способу получения особо чистых халькогенидных стекол системы германий-селен. Способ включает загрузку компонентов шихты в вакуумированный кварцевый реактор, синтез стеклообразующего расплава, его гомогенизирующее плавление и закалку. В качестве источника германия...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002648389
Дата охранного документа: 26.03.2018
26.06.2019
№219.017.9202

Способ получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния

Изобретение относится к способу получения изотопно-обогащенного стеклообразного диоксида кремния SiО, обогащенного изотопами кремния Si или Si или Si, который может быть использован для получения изотопов кремния, оптических материалов, волоконных световодов и пленок из изотопно-обогащенного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002692310
Дата охранного документа: 24.06.2019
29.06.2019
№219.017.9f27

Способ получения халькогенидных стекол системы as-s с низким содержанием кислорода

Изобретение относится к волоконной оптике и касается разработки способа получения халькогенидных стекол системы As-S с низким содержанием примеси кислорода в виде гидроксильных групп, молекулярной воды, диоксида углерода и может быть использовано для получения волоконных световодов, применяемых...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002419589
Дата охранного документа: 27.05.2011
29.06.2019
№219.017.9fe6

Способ получения высокочистых теллуритных стекол

Изобретение относится к волоконной оптике и к разработке способа получения высокочистых теллуритных стекол. Технический результат изобретения заключается в получении высокочистых теллуритных стекол и проведении процесса в условиях безопасной работы. Инициируют реакции окисления кислородом...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002455243
Дата охранного документа: 10.07.2012
29.06.2019
№219.017.9ff6

Особо чистый сульфидно-мышьяковый материал для синтеза высокопрозрачных халькогенидных стекол и способ его получения

Заявляемое изобретение относится к области оптического материаловедения и касается разработки особо чистого сульфидно-мышьякового материала, исходного для синтеза халькогенидных стекол системы As-S с высокой прозрачностью в среднем ИК-диапазоне. Сульфидно-мышьяковый материал содержит компоненты...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002450983
Дата охранного документа: 20.05.2012
29.06.2019
№219.017.a02f

Двойной тигель и способ изготовления волоконных световодов из стекол, склонных к кристаллизации и содержащих макрокомпонент с повышенной летучестью

Изобретение относится к волоконной оптике и касается разработки устройства двойного тигля и способа вытяжки световодов с его использованием из стекол, склонных к кристаллизации и содержащих макрокомпонент с повышенной летучестью, каковыми являются халькогенидные стекла и стекла на основе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002401815
Дата охранного документа: 20.10.2010
29.08.2019
№219.017.c4c1

Способ получения особо чистых халькогенидных стекол

Изобретение относится к материалам для инфракрасной оптики, а именно к способу получения особо чистых халькогенидных стекол, легированных редкоземельными элементами. Способ получения особо чистых халькогенидных стекол, легированных редкоземельными элементами, включает загрузку компонентов шихты...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002698340
Дата охранного документа: 26.08.2019
22.11.2019
№219.017.e551

Способ получения особо чистого селена

Изобретение относится к неорганической химии и может быть использовано в волоконной инфракрасной оптике, полупроводниковом приборостроении для изготовления особо чистых халькогенидных стекол и волоконных световодов на их основе, а также в полупроводниковой технике. Для получения особо чистого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002706611
Дата охранного документа: 19.11.2019
+ добавить свой РИД