×
20.08.2016
216.015.4aba

СПОСОБ ЭЛЕКТРОННОГО ОБЕЗГАЖИВАНИЯ МИКРОКАНАЛЬНОЙ ПЛАСТИНЫ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ВАКУУМНОГО ПРИБОРА

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
№ охранного документа
0002594986
Дата охранного документа
20.08.2016
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии изготовления вакуумных фотоэлектронных приборов (ФЭП), содержащих микроканальные пластины (МКП), такие как бипланарные и инверсионные электронно-оптические преобразователи (ЭОП), фотоэлектронные умножители (ФЭУ) и позиционно-чувствительные детекторы, и может быть использовано при производстве этих приборов. Технический результат - повышение производительности и эффективности обезгаживания МКП для улучшения параметров и повышения надежности вакуумного прибора. Способ включает облучение МКП входным электронным потоком при заданных напряжении и выходном токе. Обезгаживание осуществляют электронным потоком в пять этапов: первый этап проводят при входном токе 4·10-8·10 Α и выходном токе 0,05-,01 от тока проводимости МКП, второй этап обезгаживания осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В при том же входном токе, на третьем этапе ступенчато снижают напряжение на МКП через каждые 50-100 В от 1000-1050 В до 650 - 600 В при постоянно поддерживаемом выходном токе 2,7-3,2 мкА, на четвертом этапе обезгаживание проводят при том же выходном токе и входном токе, соответствующем входному току предельного режима эксплуатации вакуумного прибора, на пятом этапе обезгаживание осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В и выходном токе 10-12 мкА. 2 ил., 2 табл.
Основные результаты: Способ электронного обезгаживания микроканальной пластины при изготовлении вакуумного прибора, включающий облучение МКП входным электронным потоком при заданных напряжении на МКП и выходном токе, отличающийся тем, что обезгаживание электронным потоком осуществляют в пять этапов, первый этап проводят при входном токе 4·10-8·10 А и выходном токе 0,05-0,1 от тока проводимости МКП, на втором этапе обезгаживание осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В при том же входном токе, на третьем этапе ступенчато снижают напряжение на МКП через каждые 50-100 В от 1000-1050 В до 650-600 В при постоянно поддерживаемом выходном токе 2,7-3,2 мкА, на четвертом этапе обезгаживание проводят при том же выходном токе и при входном токе, соответствующем входному току предельного режима эксплуатации вакуумного прибора, на пятом этапе обезгаживание осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В и выходном токе 10-12 мкА.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии изготовления вакуумных фотоэлектронных приборов (ФЭП), содержащих микроканальные пластины (МКП), такие как бипланарные и инверсионные электронно-оптические преобразователи (ЭОП), фотоэлектронные умножители (ФЭУ) и позиционно-чувствительные детекторы, и может быть использовано при производстве этих приборов.

Известен способ изготовления вакуумного фотоэлектронного прибора с микроканальной пластиной, включающий выполнение в процессе откачки последовательных операций электронного обезгаживания микроканальной пластины путем облучения ее электронным потоком от источника электронов, при этом электронная бомбардировка МКП продолжается 30-40 часов при выходном токе МКП, составляющем 20% от тока ее проводимости [см. а.с. СССР №1295953, МПК5 H01J 9/12, опубл. 30.05.1991 г.].

Недостатками аналога являются низкая производительность обезгаживания и недостаточная эффективность очистки.

Наиболее близким к заявляемому техническому решению является способ электронного обезгаживания МКП при изготовлении бипланарного ЭОП в установке финишной сборки, включающий облучение МКП входным электронным потоком при заданных напряжениях на МКП и выходном токе (см. Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Коновалова П.И., МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 2010 год, стр. 10-11).

Недостатками прототипа является то, что весь техпроцесс происходит с неизменным поддерживаемым постоянно выходным током 2,5 мкА, который соответствует работе МКП в режиме насыщения, последнее приводит к тому, что энергия электронов на последних стадиях размножения уменьшается и вероятность десорбции адсорбированных поверхностью каналов загрязнений также уменьшается; при уменьшении напряжения на МКП при постоянном выходном токе входной ток уменьшается, что снижает интенсивность газовыделения МКП и соответственно ухудшает эффективность очистки, к тому же величина входного тока не связана с параметрами вакуумного прибора при эксплуатации, что может привести к газовыделению в полость прибора, провоцируя снижение основных параметров ЭОП, а подаваемое на МКП напряжение 710 В существенно ниже рабочего и при его увеличении в вакуумном приборе увеличится энергия вторичных электронов и глубина их проникновения в бомбардируемую поверхность, что приведет к росту газовыделения при эксплуатации вакуумного прибора.

Таким образом, описанный в прототипе способ электронного обезгаживания МКП не обеспечит равномерную очистку каналов по всей длине и не гарантирует соблюдение требования надежности при работе вакуумного прибора.

Задачей предлагаемого технического решения является повышение производительности и эффективности обезгаживания МКП для улучшения параметров и повышения надежности вакуумного прибора.

Технический результат достигается тем, что в способе электронного обезгаживания микроканальной пластины при изготовлении вакуумных приборов, включающем облучение МКП входным электронным потоком при заданных напряжении и выходном токе, согласно изобретению обезгаживание электронным потоком осуществляют в пять этапов, первый этап проводят при входном токе 4·10-9-8·10-9 А и выходном токе 0,05-0,1 от тока проводимости МКП, на втором этапе обезгаживание осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В при том же входном токе, на третьем этапе ступенчато снижают напряжение на МКП через каждые 50-100 В от 1000-1050 В до 650-600 В при постоянно поддерживаемом выходном токе 2,7-3,2 мкА, на четвертом этапе обезгаживание проводят при том же выходном токе и входном токе, соответствующем входному току предельного режима эксплуатации вакуумного прибора, на пятом этапе обезгаживание осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В и выходном токе 10-12 мкА.

Данный способ позволит повысить производительность и эффективность обезгаживания МКП, снизить остаточное электронно-стимулированное газовыделение, улучшить параметр «отношение сигнал/шум» и надежность вакуумного прибора.

При входном токе меньше 4·10-9 Α снижается газовыделение, что приводит к снижению производительности, а при токе выше 8·10-9 А происходит очень интенсивное газоотделение, что может привести к пробою МКП и экрана. Диапазоны выходного тока 2,7-3,2 мкА и 10-12 мкА выбраны исходя из того, что при меньших токах снижается интенсивность газовыделения, а при больших токах чрезмерно возрастает входной ток, приводя к неоправданному снижению усиления МКП.

Сущность способа поясняется графиками, где на фиг. 1 изображено изменение газовыделения МКП в процессе обезгаживания по заявляемому способу, а на фиг. 2 - по прототипу, и таблицами 1, 2, в которых приведены сравнительные результаты обезгаживания МКП по заявляемому способу и прототипу.

Способ электронного обезгаживания микроканальной пластины при изготовлении вакуумного прибора осуществляли следующим образом.

На первом этапе проводили очистку каналов при выходном токе, соответствующем линейному режиму работы МКП, т.е. устанавливали выходной ток 0,1 от тока проводимости МКП, чтобы предотвратить зарядку каналов на выходе. При этом происходила очистка каналов по всей длине, в основном их выходных участков, так как количество электронов, бомбардирующих выходные участки в линейном режиме, в 102-103 раз больше, чем количество электронов на входе. На этом этапе в качестве второго задаваемого параметра используется входной ток 5·10-9 А, величина которого достаточна, чтобы вызвать интенсивное газоотделение, но не привести при этом к пробою МКП и экрана. В таком режиме газовыделение вырастало до максимума и начинало снижаться.

На втором этапе поднимали напряжение на МКП до 1000 В (максимально допустимый предел рабочего напряжения на МКП для вакуумных приборов), чтобы увеличить десорбцию поверхностно-адсорбированных веществ за счет роста энергии вторичных электронов между столкновениями. Входной ток при этом оставался неизменным, выходной увеличивался. В таком режиме происходила очистка каналов и выходной металлизации каналов при максимальной энергии вторичных электронов.

На третьем этапе для обеспечения интенсивного газовыделения на всей продолжительности этапа производили ступенчатое снижение напряжения на МКП от 1000 В до 650 В через каждые 50 В при установленной величине выходного тока, равной 3 мкА. Это приводило к тому, что входной ток на каждой ступени увеличивался и, соответственно, увеличивалось газовыделение, т.е. увеличивалась степень очистки входного торца МКП и входных участков каналов.

На четвертом этапе очищали максимально входной торец и входные участки каналов. Это достигали установлением входного тока, соответствующего максимальной световой нагрузке, предусмотренной технической документацией на испытания и эксплуатацию конкретных вакуумных приборов.

На пятом этапе осуществляли очистку выходной металлизации при максимальной энергии вторичных электронов, устанавливали напряжение на МКП 1000 В и выходной ток 10 мкА, соответствующий режиму глубокого насыщения МКП. Поскольку каналы МКП уже, в основном, очищены от поверхностных соединений, резкого снижения усиления МКП не происходит даже при значительном увеличении выходного тока за счет повышения входного тока.

Результатом электронного обезгаживания является снижение остаточного электронно-стимулированного газовыделения на порядок в сравнении с прототипом (см. табл. 1, 2), что приведет к улучшению параметра «отношение сигнал/шум» и надежности вакуумного прибора за счет снижения уровня донной обратной связи.

Электронное обезгаживание МКП производили последовательно в пять этапов для очистки определенных частей МКП на каждом этапе таким образом, чтобы происходило постоянно интенсивное газовыделение (см. фиг. 1), в результате чего очистка поверхности МКП от загрязнений происходит более равномерно по всей длине каналов и в более короткие сроки, а привязка к параметрам режимов эксплуатации вакуумных приборов гарантирует низкий уровень газоотделения при их работе.

Использование предлагаемого способа позволит по сравнению с прототипом повысить производительность и эффективность обезгаживания МКП, что приведет к улучшению параметров и надежности вакуумного прибора.

Способ электронного обезгаживания микроканальной пластины при изготовлении вакуумного прибора, включающий облучение МКП входным электронным потоком при заданных напряжении на МКП и выходном токе, отличающийся тем, что обезгаживание электронным потоком осуществляют в пять этапов, первый этап проводят при входном токе 4·10-8·10 А и выходном токе 0,05-0,1 от тока проводимости МКП, на втором этапе обезгаживание осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В при том же входном токе, на третьем этапе ступенчато снижают напряжение на МКП через каждые 50-100 В от 1000-1050 В до 650-600 В при постоянно поддерживаемом выходном токе 2,7-3,2 мкА, на четвертом этапе обезгаживание проводят при том же выходном токе и при входном токе, соответствующем входному току предельного режима эксплуатации вакуумного прибора, на пятом этапе обезгаживание осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В и выходном токе 10-12 мкА.
СПОСОБ ЭЛЕКТРОННОГО ОБЕЗГАЖИВАНИЯ МИКРОКАНАЛЬНОЙ ПЛАСТИНЫ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ВАКУУМНОГО ПРИБОРА
СПОСОБ ЭЛЕКТРОННОГО ОБЕЗГАЖИВАНИЯ МИКРОКАНАЛЬНОЙ ПЛАСТИНЫ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ВАКУУМНОГО ПРИБОРА
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-8 из 8.
27.12.2013
№216.012.920c

Способ измерения фактора шума микроканальной пластины

Изобретение относится к области измерительной техники и касается способа измерения фактора шума микроканальной пластины. Способ включает снятие сигнала со всей площади люминесцентного экрана, который осуществляется в процессе изготовления МКП, регистрацию сигнала каждого импульса с выхода МКП,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002503081
Дата охранного документа: 27.12.2013
18.01.2019
№219.016.b12d

Способ измерения фактора шума микроканальной пластины

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения отношения сигнал-шум с последующим расчетом фактора шума микроканальной пластины (МКП) в производстве МКП, в частности для использования в приборах ночного видения. Технический результат - возможность контроля...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002677230
Дата охранного документа: 16.01.2019
29.06.2019
№219.017.a150

Способ изготовления блока микроканальных пластин

Изобретение относится к обработке стекловидных нитей спеканием, в частности к изготовлению блоков микроканальных пластин, и может быть использовано в электронно-оптических преобразователях. Технический результат заключается в повышении механической прочности и улучшении качества микроканальных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002441851
Дата охранного документа: 10.02.2012
25.07.2019
№219.017.b92a

Устройство для регистрации и анализа оптического сигнала с волоконно-оптического биочипа

Изобретение относится к биосенсорам избирательного обнаружения по меньшей мере одного комплементарного вида олигонуклеотидной мишени в образце жидкости, содержащем смесь различных олигонуклеотидных фрагментов, и может быть использовано для распознавания биологических аналитов в смешанном жидком...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002695289
Дата охранного документа: 22.07.2019
13.11.2019
№219.017.e0ce

Способ изготовления волоконно-оптической матрицы для биочипа (варианты)

Группа изобретений относится к технологии изготовления волоконно-оптических матриц для биочипов и может быть использовано в аналитической химии, молекулярной биологии, биотехнологии, фармакологии, медицине. Способ изготовления волоконно-оптической матрицы для биочипа включает травление торцевой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002705593
Дата охранного документа: 11.11.2019
13.12.2019
№219.017.ed8a

Устройство фотоэлектронного умножителя с мкп

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к конструкции и технологии изготовления вакуумных фотоэлектронных приборов (ФЭП), содержащих микроканальные пластины (МКП) в шевронной сборке, таких как фотоэлектронные умножители (ФЭУ), позиционно-чувствительные детекторы (ПЧД) и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002708664
Дата охранного документа: 11.12.2019
12.04.2023
№223.018.49f6

Стекло растворимой жилы для мелкоструктурных микроканальных пластин

Изобретение относится к оптической и электронной промышленности, в частности к производству растворимых оптических стекол жилы для изготовления мелкоструктурных микроканальных пластин (МКП). Стекло растворимой жилы для мелкоструктурных микроканальных пластин согласно изобретению содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002754142
Дата охранного документа: 30.08.2021
23.05.2023
№223.018.6f1b

Способ извлечения щелочных металлов из микроканальной пластины

Изобретение относится к электронной промышленности, в частности к химической обработке поверхности микроканальных пластин (МКП), и может быть использовано в электронно-оптических преобразователях. Способ извлечения щелочных металлов из микроканальной пластины включает химическую обработку 8-12%...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002743839
Дата охранного документа: 26.02.2021
Показаны записи 1-7 из 7.
27.12.2013
№216.012.920c

Способ измерения фактора шума микроканальной пластины

Изобретение относится к области измерительной техники и касается способа измерения фактора шума микроканальной пластины. Способ включает снятие сигнала со всей площади люминесцентного экрана, который осуществляется в процессе изготовления МКП, регистрацию сигнала каждого импульса с выхода МКП,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002503081
Дата охранного документа: 27.12.2013
18.01.2019
№219.016.b12d

Способ измерения фактора шума микроканальной пластины

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения отношения сигнал-шум с последующим расчетом фактора шума микроканальной пластины (МКП) в производстве МКП, в частности для использования в приборах ночного видения. Технический результат - возможность контроля...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002677230
Дата охранного документа: 16.01.2019
29.06.2019
№219.017.a150

Способ изготовления блока микроканальных пластин

Изобретение относится к обработке стекловидных нитей спеканием, в частности к изготовлению блоков микроканальных пластин, и может быть использовано в электронно-оптических преобразователях. Технический результат заключается в повышении механической прочности и улучшении качества микроканальных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002441851
Дата охранного документа: 10.02.2012
25.07.2019
№219.017.b92a

Устройство для регистрации и анализа оптического сигнала с волоконно-оптического биочипа

Изобретение относится к биосенсорам избирательного обнаружения по меньшей мере одного комплементарного вида олигонуклеотидной мишени в образце жидкости, содержащем смесь различных олигонуклеотидных фрагментов, и может быть использовано для распознавания биологических аналитов в смешанном жидком...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002695289
Дата охранного документа: 22.07.2019
13.12.2019
№219.017.ed8a

Устройство фотоэлектронного умножителя с мкп

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к конструкции и технологии изготовления вакуумных фотоэлектронных приборов (ФЭП), содержащих микроканальные пластины (МКП) в шевронной сборке, таких как фотоэлектронные умножители (ФЭУ), позиционно-чувствительные детекторы (ПЧД) и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002708664
Дата охранного документа: 11.12.2019
12.04.2023
№223.018.49f6

Стекло растворимой жилы для мелкоструктурных микроканальных пластин

Изобретение относится к оптической и электронной промышленности, в частности к производству растворимых оптических стекол жилы для изготовления мелкоструктурных микроканальных пластин (МКП). Стекло растворимой жилы для мелкоструктурных микроканальных пластин согласно изобретению содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002754142
Дата охранного документа: 30.08.2021
23.05.2023
№223.018.6f1b

Способ извлечения щелочных металлов из микроканальной пластины

Изобретение относится к электронной промышленности, в частности к химической обработке поверхности микроканальных пластин (МКП), и может быть использовано в электронно-оптических преобразователях. Способ извлечения щелочных металлов из микроканальной пластины включает химическую обработку 8-12%...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002743839
Дата охранного документа: 26.02.2021
+ добавить свой РИД