Результат интеллектуальной деятельности: ПЛАНАПОХРОМАТИЧЕСКИЙ МИКРООБЪЕКТИВ БОЛЬШОГО УВЕЛИЧЕНИЯ С УВЕЛИЧЕННЫМ РАБОЧИМ РАССТОЯНИЕМ

Предлагаемое изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к объективам микроскопов с увеличенным рабочим расстоянием, и может быть использовано для визуального наблюдения, вывода на TV-камеру и фотографирования малоконтрастных микроскопических структур, находящихся на пределе разрешающей способности световых микроскопов в естественном свете, свете люминесценции, в поляризованном свете, методом светлого поля, темного поля, фазового контраста, при оценке качества изготовления и аттестации в условиях промышленного производства изделий микроэлектроники и др.

Известен иммерсионный микрообъектив большого увеличения с увеличенным рабочим расстоянием [1], содержащий расположенные вдоль оптической оси фронтальный компонент в виде мениска, обращенного выпуклостью в пространство изображения, второй одиночный положительный компонент, третий двусклеенный из отрицательной и положительной линз положительный компонент, четвертый двусклеенный из отрицательной и положительной линз компонент, пятый в виде одиночных менисков, обращенных вогнутостью в пространство изображения.

Объектив имеет увеличенное рабочее расстояние, улучшенную коррекцию моно и хроматических аберраций (ахроматическую), увеличена одновременно наблюдаемая площадь объекта.

Но микрообъектив имеет недостаточное линейное поле изображения (20 мм), ахроматическую коррекцию, остаточный хроматизм увеличения.

Наиболее близким техническим решением к заявляемому техническому решению является микрообъектив с увеличенным рабочим расстоянием [2]. Объектив состоит из четырех компонентов, первый из которых содержит «n» фронтальных одиночных положительных линз, второй - две двусклеенные линзы, обращенные положительными линзами навстречу друг другу, третий компонент - положительная одиночная линза, четвертый - двускленная линза из положительного мениска, обращенного вогнутостью в пространство объекта, и двояковогнутой отрицательной линзы.

Объектив имеет линейное поле изображения 25 мм, улучшенную коррекцию сферохроматических аберраций, астигматизма и кривизны, исправлен хроматизм увеличения.

Но объектив имеет недостаточную величину рабочего расстояния, ахроматическую коррекцию и остаточные астигматизм и кривизну изображения.

Основной задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является увеличение рабочего расстояния при достижении планапохроматической коррекции.

Поставленная задача решается с помощью предложенного планапохроматического микрообъектива большого увеличения, который, как и прототип, содержит последовательно расположенные четыре компонента, первый из которых выполнен в виде n положительных линз, второй компонент выполнен в виде двух двусклеенных линз, обращенных положительными линзами навстречу друг другу, третий положительный компонент, четвертый компонент выполнен в виде двусклеенной линзы, состоящей из положительной линзы и двояковогнутой отрицательной линзы.

В отличие от прототипа во втором компоненте перед двумя двусклеенными линзами, обращенными положительными линзами навстречу друг другу, помещена трехсклеенная линза, выполненная из двух положительных двояковыпуклых линз с размещенной между ними отрицательной двояковогнутой линзой, третий положительный компонент выполнен двусклеенным из двояковыпуклой положительной и отрицательной линз, а в четвертом компоненте в двусклеенной линзе положительная линза выполнена двояковыпуклой и за ней дополнительно помещена линза.

Дополнительная линза четвертого компонента может быть выполнена в виде мениска, обращенного вогнутостью в пространство объекта, а также может быть выполнена склеенной из положительного мениска и отрицательной двояковогнутой линзы.

Кроме того, показатель преломления положительных линз трехсклеенной линзы второго компонента имеет значение 1.42≤n_d≤1.45, а его коэффициент дисперсии 90≤ν_d≤95, показатель преломления первой положительной линзы первого компонента имеет значение 1.85≤n_d≤1.93, а его коэффициент дисперсии 30≤ν_d≤33.

Сущность предлагаемого изобретения заключается в том, что добавление трехсклеенной линзы во втором компоненте, выполнение третьего компонента двусклеенным из положительной двояковыпуклой линзы и отрицательного мениска, обращенного вогнутостью в пространство объекта, помещение дополнительной линзы в четвертом компоненте, позволили впервые увеличить рабочее расстояние до двух фокусных расстояний в объективе с большим увеличением, улучшить плановую коррекцию, а выполнение линз с приведенными выше показателями преломления и коэффициентами дисперсии позволили обеспечить апохроматическую коррекцию с исправленным хроматизмом увеличения.

На основании изложенного можно сделать вывод, что новая совокупность существенных признаков изобретения позволила получить технический результат, заключающийся в увеличении рабочего расстояния более чем в 2 раза, обеспечить апохроматическую коррекцию и улучшить аберрации внеосевых пучков.

По предлагаемой схеме реализованы микрообъективы:

1) увеличением 100 крат, входной апертурой 0.7, линейным полем изображения 25 мм, рабочим расстоянием 4.1 мм;

2) увеличением 250 крат, входной апертурой 0.85, линейным полем изображения 25 мм, рабочим расстоянием 0.8 мм, превышающим фокусное расстояние микрообъектива.

Предлагаемый планапохроматический микрообъектив большого увеличения с увеличенным рабочим расстоянием поясняется чертежом, на котором представлена его оптическая схема, а также Приложением, в котором даны конструктивные параметры и аберрационные выпуски.

Заявляемый планапохроматический микрообъектив большого увеличения с увеличенным рабочим расстоянием содержит четыре компонента.

Первый компонент I содержит положительный мениск 1, обращенный выпуклостью в пространство изображения, и положительную двояковыпуклую линзу 2.

Второй компонент II состоит из двух склеенных линз, первая из которых склеена из отрицательного мениска 3, обращенного выпуклостью в пространство объекта, и двояковыпуклой положительной линзы 4, вторая склейка состоит из двояковыпуклой 5 и двояковогнутой 6 линз.

Третий компонент III содержит склеенную линзу из положительной двояковыпуклой 7 и отрицательной двояковогнутой 8 линз.

Четвертый компонент IV склеен из положительной двояковыпуклой линзы 9 и отрицательной двояковогнутой линзы 10.

Во втором компоненте II и перед двумя склеенными линзами 1 и 2, 3 и 4 дополнительно помещена трехсклеенная линза, состоящая из двух положительных двояковыпуклых линз 11 и 12 с размещенной между ними отрицательной двояковогнутой линзой 13.

В четвертом компоненте IV за двусклееной линзой дополнительно помещена линза 14.

Дополнительная линза 14 четвертого компонента IV может быть выполнена в виде положительного мениска, обращенного вогнутостью в пространство объекта, а также в виде склеенной из положительного мениска и отрицательной двояковогнутой линзы.

Кроме того, показатель преломления положительных линз трехсклеенной линзы второго компонента имеет значение 1.42≤n_d≤1.45, а его коэффициент дисперсии 90≤ν_d≤95, показатель преломления первой положительной линзы первого компонента имеет значение 1.85≤n_d≤1.93, а его коэффициент дисперсии 30≤ν_d≤33.

Предлагаемый объектив работает следующим образом.

Объектив работает с тубусной линзой f′=200 мм.

Лучи от объекта наблюдения, расположенного в передней фокальной плоскости микрообъектива, проходят через первый компонент I - положительные мениск 1 и двояковыпуклую линзу 2, образуя мнимое увеличенное изображение, внося отрицательную сферохроматическую аберрацию, хроматизм положения и увеличения, кому.

Компоненты II и III линзы 11, 13, 12, 3, 4, 5, 6, 7 и 8 создают мнимое увеличенное изображение в фокальной плоскости компонента IV, переисправляя сферохроматическую аберрацию и кому.

Далее компонент IV линзы 9, 10 и 14 переносит изображение объекта в бесконечность, образуя планапохроматическое высококонтрастное изображение объекта.

В приложении приводится микрообъектив с увеличением 100^x, числовой апертурой 0.7, линейным полем изображения 25 мм и увеличенным по сравнению с прототипом более чем в 2 раза рабочим расстоянием (в прототипе 1.5 мм, в заявляемом техническом решении 4.1 мм).

В таблице 1 представлено число Штреля, характеризующее качество изображения микрообъектива для приведенных относительных значений величин изображения.

В таблице 2 приведены значения числа Штреля микрообъектива с увеличением 250^x, входной апертурой 0.85, линейным полем изображения 25 мм, рабочим расстоянием 0.8 мм.

Источники информации

1. Российская Федерация, патент на изобретение №2176804, МПК: G02B 21/02, опубл. 10.12.2001 г.

2. Российская Федерация, патент на изобретение №2097810, МПК: G02B 21/02, опубл. 27.11.1997 г. - прототип.