×
10.06.2015
216.013.5228

ЛИНЕЙНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к измерительной технике. Акселерометр содержит кремниевую подложку, на которую нанесен пьезоэлектрический слой, например, из окиси цинка в виде прямоугольной вытянутой дорожки. С обеих сторон пьезоэлектрической дорожки и в ее середине установлены встречно-штыревые электроды. На центральный электрод подается электрический импульс, который распространяется со скоростью звука от центрального электрода к внешним. Одновременно под действием внешнего линейного ускорения акустическая волна ускоряется или замедляется в зависимости от направления векторов скорости звука и действующего внешнего линейного ускорения. При отсутствии ускорения импульс от центрального электрода к внешним приходит одновременно, при действии ускорения - в разное время. Разность времен прохождения мерных участков акустической волной прямо пропорциональна действующему ускорению. Изобретение обеспечивает повышение точности измерений. 1 ил.
Основные результаты: Линейный акселерометр, содержащий подложку из монокремния, на которой сформирован пьезоэлектрический слой в виде вытянутой прямоугольной дорожки, отличающийся тем, что в акселерометр введены три одинаковых встречно-штыревых электрода, первый и второй из которых размещены по краям пьезоэлектрического слоя, а третий - в его середине, одновибратор, выход которого соединен с третьим встречно-штыревым электродом, первый и второй приемники ультразвукового сигнала и управляющее устройство, входы первого и второго приемников ультразвукового сигнала соединены, соответственно, с первым и вторым встречно-штыревыми электродами, выходы приемников соединены с первым и вторым входами управляющего устройства, а выход управляющего устройства соединен со входом одновибратора.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для создания датчиков линейных ускорений.

Известен микромеханический датчик линейных ускорений [1], который содержит чувствительный элемент маятникого типа из монокремния и тензорезисторы на поверхностных акустических волнах (ПАВ), размещенные на упругом подвесе маятника.

Недостатком известного датчика является температурная нестабильность нулевого сигнала и коэффициента крутизны статической характеристики из-за сильной зависимости характеристик преобразователей на ПАВ от температуры.

Наиболее близким к заявляемому изобретению может служить акселерометр на ПАВ, содержащий подложку из монокремния, на которой сформирован пьезоэлектрический слой в виде вытянутой прямоугольной дорожки [2].

Недостатком данного акселерометра на ПАВ является низкая точность и надежность вследствие сложности устройства, в котором необходимо иметь подвижный узел в виде маятника и электронный блок, выявляющий перемещения маятника.

Эти недостатки устраняются предлагаемым решением.

Задачей, на решение которой направлено изобретение, является повышение надежности акселерометра.

Технический результат - повышение точности измерений. Этот технический результат достигается тем, что в акселерометр введены три одинаковых встречно-штыревых электрода, первый и второй из которых размещены по краям пьезоэлектрического слоя, а третий - в его середине, одновибратор, выход которого соединен с третьим встречно-штыревым электродом, первый и второй приемники ультразвукового сигнала и управляющее устройство, входы первого и второго приемников ультразвукового сигнала соединены, соответственно, с первым и вторым встречно-штыревыми электродами, выходы приемников соединены с первым и вторым входами управляющего устройства, а выход управляющего устройства соединен со входом одновибратора.

К существенному отличию заявленного устройства, по сравнению с известным, относится то, что оно реализуется без подвижного узла с исключением упругих подвесов, которые обычно вносят основные погрешности.

Предлагаемый линейный акселерометр иллюстрируется чертежом. Акселерометр содержит подложку 1 из монокремния, одинаковые первый и второй встречно-штыревые электроды 2, 3, третий встречно-штыревой электрод 4, пьезоэлектрический слой 5, первый и второй приемники ультразвукового сигнала 6 и 7, управляющее устройство 8 и одновибратор 9.

На подложке 1 из монокремния нанесен пьезоэлектрический слой 5, например из окиси цинка, в виде прямоугольной вытянутой дорожки. На обоих концах пьезоэлектрической дорожки установлены первый и второй встречно-штыревые электроды 2 и 5. Аналогичный третий встречно-штыревой электрод 4 установлен в средине пьезоэлектрического слоя. Встречно-штыревой электрод 4 соединен с выходом одновибратора 9, а вход одновибратора 9 соединен с выходом управляющего устройства 8. Выходы первого и второго встречно-штыревых электродов 2 и 3 соединены, соответственно, с первым и вторым входами управляющего устройства 8.

На встречно-штыревой электрод 4 подается электрический импульс от одновибратора 9, который распространяется от него со скоростью звука к первому и второму встречно-штыревым электродам 2 и 3, которые соединены с первым и вторым приемниками 6 и 7 акустического давления. Одновременно под действием внешнего линейного ускорения акустическая волна ускоряется или замедляется в зависимости от направления векторов скорости звука и действующего внешнего линейного ускорения. Так, при совпадении векторов скорости звука и внешнего линейного ускорения время прохождения мерного участка определяется зависимостью:

где L - длина мерного участка, определяемая как расстояние между электродом 4 и встречно-штыревыми электродами 2,3; а - скорость распространения звука в пьезоэлектрической подложке; - внешнее линейное ускорение.

При несовпадении векторов скорости звука и внешнего линейного ускорения время прохождения мерного участка определяется зависимостью:

Из формул (1) и (2) величина линейного ускорения определяется в следующем виде:

При отсутствии ускорения импульс от центрального электрода к внешним приходит одновременно, при действии ускорения - в разное время.

Анализ аналогов показывает, что предлагаемое решение соответствует критерию «новизна», технический результат, достигаемый совокупностью признаков, свидетельствует о соответствии критерию «изобретательский уровень», лабораторные испытания свидетельствуют о промышленной применимости.

Источники информации

1. Патент России, №2126161, МПК G01P 15/13, опубл. 10.02.1999.

2. Паршин В.А., Харитонов В.И. Особенности технологии мультисенсорных датчиков с нелегированными упругими подвесами // Датчики и системы. 2002. №2. С.22-24.

Линейный акселерометр, содержащий подложку из монокремния, на которой сформирован пьезоэлектрический слой в виде вытянутой прямоугольной дорожки, отличающийся тем, что в акселерометр введены три одинаковых встречно-штыревых электрода, первый и второй из которых размещены по краям пьезоэлектрического слоя, а третий - в его середине, одновибратор, выход которого соединен с третьим встречно-штыревым электродом, первый и второй приемники ультразвукового сигнала и управляющее устройство, входы первого и второго приемников ультразвукового сигнала соединены, соответственно, с первым и вторым встречно-штыревыми электродами, выходы приемников соединены с первым и вторым входами управляющего устройства, а выход управляющего устройства соединен со входом одновибратора.
ЛИНЕЙНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-6 из 6.
20.08.2013
№216.012.6180

Микрогироскоп профессора вавилова

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в навигационно-пилотажных системах летательных аппаратов. Микрогироскоп выполнен по схеме линейного вибратора на корпусной пластине из проводящего монокремния и содержит два чувствительных элемента, включающих идентичные...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490592
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.61ba

Микроакселерометр

Изобретение относится к измерительной технике. Микросистемный акселерометр содержит кремниевую каркасную рамку, в которой методом анизотропного травления выполнен кремниевый проводящий маятник, соединенный упругими подвесами с каркасной рамкой. Несимметричность маятнику придана смещением оси...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490650
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.6221

Датчик магнитной индукции

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным устройствам и может быть использовано как датчик магнитной индукции в составе измерительной аппаратуры и в различных системах ориентации и навигации летательных аппаратов. Датчик магнитной индукции включает изолирующую подложку,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490753
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.6222

Микроэлектромеханический датчик магнитного поля

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным датчикам, использующим технологию микроэлектромеханических систем. Микроэлектромеханический датчик магнитного поля включает корпусную кремниевую пластину, в которой методом микротехнологии выполнен симметричный маятник, маятник...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490754
Дата охранного документа: 20.08.2013
10.11.2013
№216.012.7f20

Пьезогироскоп

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в приборах навигационных систем. Устройство содержит чувствительный элемент, выполненный в виде диска, на котором на верхней поверхности нанесено восемь проводящих электродов-секторов, а на нижней выполнен сплошной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002498217
Дата охранного документа: 10.11.2013
27.10.2015
№216.013.88f4

Способ восстановления целостности и функциональности пяточной кости человека и аппарат для его осуществления

Группа изобретений относится к травматологии и ортопедии и может быть применима для восстановления целостности и функциональности пяточной кости человека. Проводят сборку аппарата для восстановления целостности и функциональности пяточной кости человека в соответствии с боковой рентгенограммой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002566663
Дата охранного документа: 27.10.2015
Показаны записи 1-6 из 6.
20.08.2013
№216.012.6180

Микрогироскоп профессора вавилова

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в навигационно-пилотажных системах летательных аппаратов. Микрогироскоп выполнен по схеме линейного вибратора на корпусной пластине из проводящего монокремния и содержит два чувствительных элемента, включающих идентичные...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490592
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.61ba

Микроакселерометр

Изобретение относится к измерительной технике. Микросистемный акселерометр содержит кремниевую каркасную рамку, в которой методом анизотропного травления выполнен кремниевый проводящий маятник, соединенный упругими подвесами с каркасной рамкой. Несимметричность маятнику придана смещением оси...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490650
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.6221

Датчик магнитной индукции

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным устройствам и может быть использовано как датчик магнитной индукции в составе измерительной аппаратуры и в различных системах ориентации и навигации летательных аппаратов. Датчик магнитной индукции включает изолирующую подложку,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490753
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.6222

Микроэлектромеханический датчик магнитного поля

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным датчикам, использующим технологию микроэлектромеханических систем. Микроэлектромеханический датчик магнитного поля включает корпусную кремниевую пластину, в которой методом микротехнологии выполнен симметричный маятник, маятник...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490754
Дата охранного документа: 20.08.2013
10.11.2013
№216.012.7f20

Пьезогироскоп

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в приборах навигационных систем. Устройство содержит чувствительный элемент, выполненный в виде диска, на котором на верхней поверхности нанесено восемь проводящих электродов-секторов, а на нижней выполнен сплошной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002498217
Дата охранного документа: 10.11.2013
27.10.2015
№216.013.88f4

Способ восстановления целостности и функциональности пяточной кости человека и аппарат для его осуществления

Группа изобретений относится к травматологии и ортопедии и может быть применима для восстановления целостности и функциональности пяточной кости человека. Проводят сборку аппарата для восстановления целостности и функциональности пяточной кости человека в соответствии с боковой рентгенограммой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002566663
Дата охранного документа: 27.10.2015
+ добавить свой РИД