×
20.05.2014
216.012.c55f

Результат интеллектуальной деятельности: СИНХРОННЫЙ МИКРОДВИГАТЕЛЬ С ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫМ УНИПОЛЯРНЫМ ВОЗБУЖДЕНИЕМ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к области электротехники, в частности к электрическим машинам, и касается выполнения синхронного микродвигателя (СД) с электромагнитным униполярным возбуждением. Технический результат - повышение надежности работы синхронного микродвигателя за счет создания на роторе постоянных полюсов электромагнитным путем без использования постоянных магнитов. Синхронный микродвигатель (СД) с электромагнитным униполярным возбуждением содержит статор, на котором расположены обычный сердечник с трехфазной сетевой обмоткой, создающей вращающееся магнитное поле статора, и обмотка возбуждения с постоянным током, создающая поток возбуждения, а также цилиндрический массивный ротор из железомедного сплава, разделенный немагнитной проводящей прослойкой на две магнитоизолированные части - два сердечника ротора. При этом согласно данному изобретению, с целью повышения надежности работы СД, осуществляется бесконтактное электромагнитное униполярное возбуждение, при котором два сердечника ротора образуют два постоянных магнитных полюса с неизменно разной полярностью, северный N и южный S, взаимодействие которых с вращающимся магнитным полем статора создает синхронизирующий момент, а наличие на роторе массивных сердечников обеспечивает ему асинхронный пуск без пусковой обмотки. 2 ил.
Основные результаты: Синхронный микродвигатель (СД) с электромагнитным униполярным возбуждением, имеющий на статоре: обычный сердечник с трехфазной сетевой обмоткой, создающей вращающееся магнитное поле статора, две кольцевые катушки обмотки возбуждения, подсоединенной к источнику постоянного тока и создающей поток возбуждения, а также два кольцевых сердечника и внешние магнитопроводы, образующие пути для потока возбуждения, и цилиндрический массивный ротор из железомедного сплава, разделенный немагнитной проводящей прослойкой на две магнитоизолированные части - два сердечника ротора, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы СД, осуществляется бесконтактное электромагнитное униполярное возбуждение, при котором два сердечника ротора образуют два постоянных магнитных полюса с неизменно разной полярностью, северный N и южный S, взаимодействие которых с вращающимся магнитным полем статора создает синхронизирующий момент, а наличие на роторе массивных сердечников обеспечивает ему асинхронный пуск без пусковой обмотки.

Изобретение относится к области электротехники, в частности, к устройству синхронного микродвигателя (СД) с электромагнитным униполярным возбуждением.

Синхронные микродвигатели могут применяться в схемах автоматики и бытовых устройствах малой мощности, от долей ватта до сотен ватт, где энергетические характеристики не являются решающими. Основной особенностью синхронных микродвигателей является то, что скорость вращения их ротора равна скорости вращения поля статора и жестко связана с частотой питающей сети [1, 2]. Широкое распространение получили бесконтактные СД с постоянными магнитными [4].

У известных конструкций бесконтактных СД с магнитоэлектрическим возбуждением отсутствует обмотка возбуждения, их поток возбуждения создается постоянными магнитами, укрепленными на роторе. Наибольшее применение получили СД двух конструктивных исполнений: с аксиальным и радиальным расположением блока постоянных магнитов и пакета ротора с короткозамкнутой обмоткой [2]. Конструкция с аксиальным расположением магнитов применяется в микродвигателях малого диаметра мощностью до 100 Вт, а с радиальным расположением магнитов - в микродвигателях большего диаметра мощностью до 500 Вт и более. Недостатками таких микродвигателей являются их высокая стоимость, сложность изготовления и низкие пусковые качества. При асинхронном разгоне микродвигателей их результирующий момент имеет провал в области малых скольжений [2].

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому устройству СД является выбранный в качестве прототипа бесконтактный СД с магнитоэлектрическим возбуждением, имеющий явнополюсный ротор с радиальным расположением блока постоянных магнитов и пакета ротора с короткозамкнутой обмоткой, создающими поток возбуждения ротора и обеспечивающими возникновение электромагнитного момента в синхронном режиме [2]. Короткозамкнутая обмотка типа «беличья клетка», уложенная в шихтованный пакет из электротехнической стали, обеспечивает возникновение электромагнитного момента в режиме асинхронного пуска. Статор прототипа обычный, в его пазах расположена распределенная обмотка, создающая вращающееся магнитное поле статора.

Известная конструкция СД имеет ряд недостатков. Магнитотвердые сплавы постоянных магнитов имеют высокую стоимость, трудно поддаются механической обработке, имеют низкую магнитную проницаемость, вследствие чего невозможно выполнение беличьей клетки в роторе, изготовленном целиком из подобного сплава. Поэтому приходится применять полюсные наконечники из электротехнической стали, в которые укладывается короткозамкнутая обмотка, что усложняет конструкцию ротора, его изготовление и балансировку. Наличие на роторе постоянных магнитов при асинхронном пуске приводит к появлению тормозного момента, ухудшающего условия пуска под нагрузкой или делающего его вообще невозможным, что делает работу СД ненадежной. Надежность снижается также из-за того, что под действием реакции якоря при определенных условиях может происходить частичное, а иногда и необратимое размагничивание постоянных магнитов. Для ослабления этого явления приходится применять специальные конструктивные меры, что в конечном итоге вызывает увеличение габаритов, веса и стоимость машины [3, 6].

Целью изобретения является повышение надежности работы синхронного микродвигателя за счет создания на роторе постоянных полюсов электромагнитным путем без постоянных магнитов.

Поставленная цель достигается тем, что на статоре, кроме сердечника статора обычной кольцевой формы с распределенной трехфазной сетевой обмоткой, создающей вращающееся магнитное поле, по обе стороны сердечника статора размещены две кольцевые катушки обмотки возбуждения (ОВ), после катушек у краев статоры расположены два торцевых кольцеобразных сердечника, замыкаемых магнитно пакетами внешних магнитопроводов, проходящих позади сердечников статора. Между внешними магнитопроводами и пакетом статора имеется немагнитный зазор. Торцевые сердечники и пакеты внешнего магнитопровода образуют магнитную цепь потока возбуждения на статоре. На роторе отсутствуют и постоянные магниты и пусковая клетка, он неявнополюсный, цилиндрической формы, имеет вылеты в обе стороны от сердечника статора, магнитопроводящие части сердечника ротора с вылетами образует магнитную цепь потока возбуждения ротора. На торцах имеются короткозамкнутые кольца с пониженным электрическим сопротивлением для ослабления поперечных токов в активной зоне ротора. Крайние части обоих вылетов ротора через воздушный зазор магнитно соединяются с двумя торцовыми сердечниками статора, образуя замкнутую магнитную цепь потока возбуждения машины. ОВ, расположенная на статоре, непосредственно соединяется с источником постоянного тока. Магнитопроводящие вылеты сердечников ротора, находящиеся внутри кольцевых катушек ОВ, обеспечивают условия возникновения униполярного магнитного потока возбуждения, который замыкается в перечисленных выше элементах магнитной цепи, имея аксиальное направление, и не может взаимодействовать с вращающимся радиальным полем статора. Чтобы при униполярном возбуждении вращающееся поле статора могло взаимодействовать с ротором, надо создать на роторе два постоянных полюса с неизменно разной полярностью. Это достигается за счет конструкции ротора СД. Его ротор представляет собой сплошной массивный цилиндр из железомедного сплава с повышенным удельным сопротивлением, разделенный немагнитной проводящей прослойкой на две магнитоизолированные части - в дальнейшем два сердечника ротора.

В активной зоне машины вдоль всего воздушного зазора между сердечниками ротора и статора магнитная связь между двумя сердечниками ротора осуществляется через воздушный зазор и спинку сердечника статора, при этом потоки возбуждения в обоих сердечниках ротора изменяют направление с аксиального на радиальное. В результате в воздушном зазоре между сердечниками статора и двумя сердечниками ротора образуются два радиальных потока, один входящий, другой выходящий, так что на сердечниках ротора образуются два магнитных полюса с противоположной и неизменной полярностью: один из сердечников ротора постоянно северный полюс N, другой постоянно южный S. Взаимодействие этих «полюсов» ротора с вращающимся полем статора создает электромагнитный момент синхронизации, заставляющий ротор вращаться синхронно с полем статора.

Сплошной массивный сердечник ротора позволяет осуществить асинхронный пуск без пусковой клетки, т.к. его внешние слои выполняют роль короткозамкнутой обмотки.

Именно заявляемое устройство статора, ротора и цепи возбуждения СД, а также взаимное расположение их элементов обеспечивает возможность бесконтактного электромагнитного униполярного возбуждения СД, при котором на его роторе при отсутствии постоянных магнитов образуются два постоянных магнитных «полюса» с неизменной полярностью, взаимодействие которых с вращающимся полем статора создает вращающий электромагнитный момент синхронизации.

Сравнение заявляемого технического решения с прототипом позволило установить соответствие изобретения критерию новизна. При изучении других известных технических решений в области устройства синхронных микродвигателей признаки, отличающие заявляемое устройство СД от прототипа, не были выявлены. поэтому они обеспечивают заявляемому устройство соответствие критерию существенные отличия. Наличие равномерного воздушного зазора вдоль всей окружности статора обеспечивает равномерное распределение потока возбуждения и образование момента синхронизации вдоль всей активной зоны, что значительно улучшает рабочие характеристики СД. Этого же можно добиться путем регулирования величины тока возбуждения реостатом в цепи ОВ. При электромагнитном возбуждении отсутствует угроза размагничивания полюсов. Вращающееся магнитное поле статора не пересекает витки ОВ и не наводит в ней ЭДС. опасную в начальный момент асинхронного пуска, поэтому нет необходимости на время пуска отключать ОВ от источника питания и замыкать ее на повышенное сопротивление. Асинхронный пуск СД за счет массивных сердечников ротора обеспечивает повышенную величину пускового асинхронного момента и понижению величину пускового тока, что улучшает пусковые свойства СД [5].

Но в процессе асинхронного разгона ротора его полюса создают тормозной момент, вызывающий «провал» результирующего вращающего момента в зоне малых частот. Поэтому на время пуска можно или отключить ОВ полностью или уменьшить на время пуска её ток; регулирование тока возбуждения можно осуществить или вручную или автоматически специальным регулятором.

Сущность изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 показано продольное сечение конструктивной схемы СД с двухполюсным статором (p=1) и двухполюсным ротором; на фиг.2 показан поперечный разрез СД в среднем сечении в активной зоне.

На статоре СД расположен пакет основного магнитопровода (сердечник статора) 1 обычного типа, в пазах которого находится трехфазная сетевая обмотка 2; по обе стороны от сердечника статора расположены две кольцевые катушки 3, образующие обмотку возбуждения (ОВ); после них у торцов, по обоим краям статора, расположены два торцовых сердечника кольцеобразной формы 4, замыкаемых между собой магнитно пакетами внешнего магнитопровода 5, закрепленными на корпусе статора 6 с внешней стороны сердечника статора 1.

Ротор СД неявнополюсный цилиндрический, имеет вылеты в обе стороны от сердечника статора и состоит из двух массивных магнитопроводящих сердечников 7 из железомедного сплава, разделенных немагнитным промежутком 8.

На торцах массивных сердечников ротора 7 находятся короткозамкнутые кольца 9 с пониженным электрическим сопротивлением. Воздушный зазор 10 между основным магнитопроводом - сердечником статора 1 и двумя сердечниками ротора 7 является активной зоной, в которой происходят основные электромагнитные процессы СД.

Сердечники ротора 7 за пределами активной зоны в вылетах имеют форму цилиндров, в активной зоне, зоне воздушного зазора - форму полуцилиндров.

Крайние части обоих вылетов сердечников ротора 7 через воздушный зазор магнитно соединены с двумя торцовыми сердечниками 4, которые магнитно замыкаются между собой пакетами внешнего магнитопровода 5. Вылеты сердечников ротора 7, торцовые сердечники 4 и пакеты внешнего магнитопровода 5 образуют внешнюю часть магнитной цепи потока возбуждения. В активной зоне из-за немагнитного промежутка 8 сердечники ротора 7 магнитно связаны между собой через воздушный зазор 10 и спинку сердечника статора 1. Полуцилиндры сердечников ротора 7, воздушный зазор 10 между ними и сердечников статора и спинка сердечника статора 1 образуют внутреннюю часть магнитной цепи потока возбуждения. Пути замыкания потока возбуждения в магнитной системе СД показаны на фиг.1 и фиг.2 пунктирными линиями. Как видно из этих рисунков, поток возбуждения, замыкаясь в магнитной системе, проходит через воздушный зазор четыре раза, поэтому для создания требуемой величины потока возбуждения в СД необходима значительная МДС обмотки возбуждения.

СД работает следующим образом. Трехфазная двухполюсная сетевая обмотка статора 2 создает вращающееся магнитное поле. замыкающееся в поперечной плоскости и имеющее радиальные составляющие.

При питании ОВ постоянным током обе ее катушки 3, включенные согласно, создают в участках магнитной цепи один общий униполярный поток возбуждения. Во внешней части магнитной цепи потоки возбуждения имеют одно направление - аксиальное и не могут взаимодействовать с полем статора. В активной зоне потоки возбуждения в сердечниках ротора меняют аксиальное направление на радиальное. Направление потока возбуждения в участках магнитной цепи показано на фиг.1 и 2 пунктирными линиями. При этом в воздушном зазоре между сердечником статора и двумя сердечниками ротора образуются два радиальных потока, направленных в противоположные стороны, т.е. на роторе образуются два магнитных «полюса» с противоположной и неизменной полярностью: один из сердечников ротора постоянно северный «полюс» N, другой - постоянно южный S. Взаимодействие этих «полюсов» - сердечников ротора с вращающимся магнитным полем статора создает электромагнитный момент синхронизации.

Пуск рассматриваемого СД асинхронный, подобный пуску АД с массивным ротором [5]. Отсутствие на роторе постоянных магнитов значительно снижает расходы и трудозатраты на его изготовление, исключает угрозу размагничивания полюсов. Массивный цилиндрический ротор делает воздушный зазор равномерным вдоль всей окружности статора, что значительно улучшает рабочие характеристики, и позволяет осуществлять асинхронный пуск без пусковой клетки с лучшими пусковыми свойствами. ОВ, расположенная на статоре, может непосредственно соединяться с источником питания, массивный ротор позволяет осуществлять асинхронный пуск без пусковой клетки.

Источники информации

1. Арменский Е.В., Фалк Г.Б. Электрические микромашины. - М., 1985. - 231 с.

2. Брускин Д.Э., Зорохович А.Е., Хвостов B.C. Электрические машины и микромашины. - М.: Высшая школа, 1971. - 432 с.

3. Ермолин Н.П. Электрические машины малой мощности. - М.: Высшая школа, 1967. - 504 с.

4. Кацман М.М. Электрические машины. - М.: Академия, 2003. - 496 с.

5. Могильников B.C. Асинхронные электродвигатели с двухслойным ротором и их применение. - М.: Энергоатомиздат, 1983. - 119 с.

6. Петров Г.Н. Электрические машины. - М., МГЭИ. 1963. - 416 с.

Синхронный микродвигатель (СД) с электромагнитным униполярным возбуждением, имеющий на статоре: обычный сердечник с трехфазной сетевой обмоткой, создающей вращающееся магнитное поле статора, две кольцевые катушки обмотки возбуждения, подсоединенной к источнику постоянного тока и создающей поток возбуждения, а также два кольцевых сердечника и внешние магнитопроводы, образующие пути для потока возбуждения, и цилиндрический массивный ротор из железомедного сплава, разделенный немагнитной проводящей прослойкой на две магнитоизолированные части - два сердечника ротора, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы СД, осуществляется бесконтактное электромагнитное униполярное возбуждение, при котором два сердечника ротора образуют два постоянных магнитных полюса с неизменно разной полярностью, северный N и южный S, взаимодействие которых с вращающимся магнитным полем статора создает синхронизирующий момент, а наличие на роторе массивных сердечников обеспечивает ему асинхронный пуск без пусковой обмотки.
СИНХРОННЫЙ МИКРОДВИГАТЕЛЬ С ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫМ УНИПОЛЯРНЫМ ВОЗБУЖДЕНИЕМ
СИНХРОННЫЙ МИКРОДВИГАТЕЛЬ С ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫМ УНИПОЛЯРНЫМ ВОЗБУЖДЕНИЕМ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 51-60 из 95.
20.04.2015
№216.013.4355

Устройство для экспресс-оценки качества продуктов питания

Изобретение относится к аналитической аппаратуре. Устройство для экспресс-оценки качества продуктов питания включает в себя пьезоэлектрические преобразователи со щупами, генератор высокой частоты, генератор импульсов низкой частоты, смеситель, усилитель, преобразователь выходного сигнала, блок...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002548735
Дата охранного документа: 20.04.2015
20.07.2015
№216.013.62ce

Реанимационный комплекс для новорожденных

Изобретение относится к медицине, в частности к неонатологии, и предназначено для проведения мероприятий по восстановлению жизненно важных функций новорожденных. Реанимационный комплекс для новорожденных содержит стол с инкубатором, имеющим двойные стенки и боковую крышку, в котором размещен...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002556841
Дата охранного документа: 20.07.2015
20.07.2015
№216.013.62cf

Реанимационный комплекс для новорожденных

Изобретение относится к медицине, в частности к неонатологии, и предназначено для проведения мероприятий по восстановлению жизненно важных функций новорожденных. Реанимационный комплекс для новорожденных содержит стол с инкубатором, имеющим двойные стенки и боковую крышку, в котором размещен...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002556842
Дата охранного документа: 20.07.2015
20.07.2015
№216.013.62d2

Термоэлектрическое устройство для теплового воздействия на руку человека

Изобретение относится к медицинской технике. Термоэлектрическое устройство для теплового воздействия на руку человека содержит температурный раздражитель. Термоэлектрические модули температурного раздражителя встроены в гибкое эластичное основание с отверстиями для их установки и подключены к...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002556845
Дата охранного документа: 20.07.2015
20.07.2015
№216.013.62d4

Термоэлектрическое устройство для теплового воздействия на руку человека

Изобретение относится к медицинской технике. Термоэлектрическое устройство для теплового воздействия на руку человека содержит температурный раздражитель. Термоэлектрические модули температурного раздражителя встроены в гибкое эластичное основание с отверстиями для их установки и подключены к...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002556847
Дата охранного документа: 20.07.2015
20.07.2015
№216.013.6356

Способ стерилизации компота из черешни

Изобретение относится к консервной промышленности. Способ стерилизации компота из черешни в банке СКО 1-82-500 включает процесс нагрева в потоке воздуха температурой 140°C и скоростями 1,5-2 и 8-8,5 м/с в течение соответственно 8 и 10 мин с последующей выдержкой при температуре 105°C в течение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002556977
Дата охранного документа: 20.07.2015
20.07.2015
№216.013.6357

Способ стерилизации компота из яблок

Изобретение относится к консервной промышленности. Способ стерилизации компота из яблок в банке СКО 1-82-500 включает процесс нагрева в потоке воздуха температурой 140°C и скоростями 1,5-2 и 8-8,5 м/с в течение соответственно 6 и 12 мин с последующей выдержкой при температуре 105°C в течение 5...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002556978
Дата охранного документа: 20.07.2015
20.07.2015
№216.013.64d8

Выпрямитель переменного напряжения

Изобретение относится к электронике, в частности к средствам выпрямления переменного электрического напряжения. Целью изобретения является увеличение значения постоянного напряжения, генерируемого устройством. Выпрямитель переменного напряжения состоит из омической области, на которую подается...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002557363
Дата охранного документа: 20.07.2015
20.07.2015
№216.013.64da

Выпрямитель переменного напряжения

Изобретение относится к электронике, в частности к средствам выпрямления переменного электрического напряжения. Целью изобретения является увеличение значения постоянного напряжения, генерируемого устройством. Выпрямитель переменного напряжения состоит из омической области, на которую подается...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002557365
Дата охранного документа: 20.07.2015
20.07.2015
№216.013.64f9

Способ обработки

Изобретение относится к поверхностному пластическому деформированию внутренней поверхности детали. Осуществляют раскатку детали посредством установленного на подшипниках в резцедержателе станка центробежного раскатника. Раскатник содержит диск с хвостовиком и расположенные на периферии диска...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002557396
Дата охранного документа: 20.07.2015
Показаны записи 51-60 из 151.
27.11.2014
№216.013.0b2f

Способ стерилизации компота из яблок

Изобретение относится к консервной промышленности. Способ включает последовательный нагрев компота в потоке воздуха температурой 120°С и скоростью 8-9 м/с в течение 18 мин, душевание водой с температурой 100°С в течение 18 мин и ступенчатое охлаждение в ваннах с водой температурой 80°С в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534271
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0b30

Способ производства консервированного пюре из зеленого горошка

Изобретение относится к консервной промышленности, а именно к способу производства консервированного пюре из зеленого горошка в банках 1-58-200. Способ включает четырехступенчатый нагрев консервов в воде температурами 80, 100 и в растворе хлористого кальция температурами 120 и 140°C в течение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534272
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0b33

Устройство для фасовки стерильного жидкого и пюреобразного продукта в стерильную тару в стерильных условиях

Устройство выполнено в виде четырехугольной камеры, внутри которой установлено коромысло, на концах которого закреплены ролики для вертикального перемещения коромысла внутри камеры по ее дорожкам, и два захвата, соединенные шарнирно с коромыслом. Концы захватов выполнены в виде полукруга для...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534275
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0b45

Способ производства компота из яблок

Изобретение относится к консервной промышленности. Способ включает предварительный нагрев плодов в банках горячей водой температурой 85°С и замену воды на сироп температурой 98°С с последующей герметизацией банок самоэксгаустируемыми крышками и стерилизацией без создания противодавления в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534293
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0b48

Способ стерилизации абрикосов в абрикосовом соке с мякотью

Изобретение относится к консервной промышленности и может быть использовано при стерилизации фруктовых диетических консервов «Абрикосы в абрикосовом соке с мякотью» в банках 1-82-500. Способ характеризуется тем, что после закатки банки устанавливают в носитель, обеспечивающий механическую...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534296
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0b4a

Способ производства компота из груш и айвы

Изобретение относится к консервной промышленности. Способ производства компота из груш и айвы характеризуется тем, что после предварительной подготовки и расфасовки в банки плоды заливают на 3 мин горячей водой с температурой 85°С, после чего воду заменяют сиропом с температурой 98°С. Далее...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534298
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0b9f

Термоэлектрическая батарея

Изобретение относится к термоэлектрическому приборостроению, в частности к конструкциям термоэлектрических батарей (ТЭБ). Технический результат: повышение эффективности отвода (подвода) теплоты с горячих (холодных) контактов ТЭБ. Сущность: поверхность структуры, образованной ветвями ТЭБ, за...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534383
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0ba2

Способ формирования p-области

Изобретение относится к технологии проведения диффузии галлия для формирования р-области при изготовлении полупроводниковых приборов. Изобретение обеспечивает уменьшение разброса значений поверхностной концентрации и получение равномерного легирования по всей поверхности подложек. В способе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534386
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0ba4

Способ очистки карбид-кремниевой трубы

Изготовление относится к технологии изготовления силовых кремниевых транзисторов, в частности к способам обработки карбид-кремниевой трубы, применяемой для высокотемпературных процессов в диффузионных печах. Изобретение обеспечивает уменьшение длительности и упрощение процесса, полное удаление...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534388
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0ba5

Способ формирования диэлектрической пленки

Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых приборов и интегральных схем, в частности к способам формирования диэлектрических пленок на основе окиси титана. Изобретение позволяет сформировать на поверхности подложки диэлектрическую пленку окиси титана при низких температурах....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534389
Дата охранного документа: 27.11.2014
+ добавить свой РИД