×
27.03.2013
216.012.3177

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГРАДУИРОВКИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к методам физико-химического анализа и может быть использовано для масс-спектрометрического количественного определения состава газовых сред, содержащих изотопы водорода и гелия. Способ проведения градуировки масс-спектрометра для количественного анализа газовых смесей заключается в определении коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектров и давления газа в системе напуска масс-спектрометра. Определение коэффициентов чувствительности прибора для индивидуальных газов проводят после набора серии анализов индивидуальных газов и газовых смесей с различным содержанием компонентов. При этом коэффициенты чувствительности определяют путем решения методом наименьших квадратов системы линейных уравнений вида: где P - давление газа в системе напуска масс-спектрометра; - приведенная интенсивность ионного тока j - компонента в i - газовой смеси; n - число анализов; m - число коэффициентов чувствительности, n≥m. Техническим результатом изобретения является разработка способа, позволяющего проводить градуировку масс-спектрометра без приготовления эталонных газовых смесей. 2 табл.
Основные результаты: Способ проведения градуировки масс-спектрометра для количественного анализа газовых смесей, заключающийся в определении коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектра и давления газа в системе напуска масс-спектрометра, отличающийся тем, что определение коэффициентов чувствительности прибора для индивидуальных газов проводят по серии результатов анализов индивидуальных газов и газовых смесей с различным содержанием компонентов, а коэффициенты чувствительности (K) определяют путем решения методом наименьших квадратов системы линейных уравнений вида: где P - давление газа в системе напуска масс-спектрометра; - приведенная интенсивность ионного тока j - компонента в i - газовой смеси; n - число анализов; m - число коэффициентов чувствительности, n≥m.

Изобретение относится к методам физико-химического анализа и может быть использовано в любых областях науки и техники, где требуется количественное определение состава газовых сред, содержащих изотопы водорода и гелия, масс-спектрометрическим методом.

При определении количественного состава газа масс-спектрометрическим методом неотъемлемой процедурой является градуировка (калибровка) прибора, цель которой заключается в определении зависимостей (коэффициентов чувствительности) регистрируемых интенсивностей пиков ионов от парциального давления газа в системе напуска масс-спектрометра. Величина коэффициентов чувствительности при ионизации газа электронным ударом определяется несколькими факторами, в частности разницей потенциалов ионизации, разницей масс атомов и молекул анализируемого газа, различием структурной формулы и др. [1-3]. Наибольшее отличие масс существует у изотопов водорода и гелия, что обусловливает разницу величин коэффициентов чувствительности для молекул, содержащих изотопы водорода и атомов гелия при масс-спектрометрическом анализе. С увеличением массы молекулы, содержащей изотопы водорода, различие величин коэффициентов чувствительности становится менее значительным.

Известны два основных способа проведения градуировки масс-спектрометра: первый - градуировка проводится по индивидуальным газам, а коэффициент чувствительности определяется путем отношения измеренного парциального давления индивидуального газа к регистрируемой интенсивности пика [2, 4] для всех определяемых газовых компонентов, после чего проводится их нормирование относительно одного выбранного компонента; второй - градуировка проводится по эталонным газовым смесям с известной концентрацией компонентов, при этом коэффициент относительной чувствительности (КОЧ) одного из компонентов принимают за единицу [5, 6].

Аналогом предлагаемого способа может служить способ градуировки масс-спектрометра по эталонным газовым смесям [5, 6]. В данном способе КОЧ индивидуального газа рассчитывают по результатам масс-спектрометрического анализа газовой смеси путем соотношения зарегистрированных интенсивностей пиков масс-спектра с концентрацией соответствующих компонентов данной газовой смеси по формуле

где Ij - зарегистрированная интенсивность j - компонента, Kj - определяемый КОЧ j - компонента, Zj - содержание j - компонента в калибровочной газовой смеси, n - число компонентов в калибровочной газовой смеси.

При расчете КОЧ по формуле (1) один из КОЧ должен быть известен или принят за 1.

Недостатком аналога при решении задач, связанных с количественным определением газовых смесей, содержащих изотопы водорода, является то, что для градуировки масс-спектрометра необходима газовая смесь с известным составом. Однако при наличии в газовой смеси трития или его молекулярных соединений вследствие радиолиза газа бета-частицами происходит неконтролируемый изотопный обмен [7], что, как следствие, ведет к изменению начального состава газовой смеси.

Прототипом предлагаемого способа может служить способ градуировки масс-спектрометра для количественного анализа газовых смесей, заключающийся в определении коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектра и давления газа в системе напуска масс-спектрометра [4] по формуле

где Kj - определяемый КОЧ j - компонента, Pj - давление j - компонента, Ij - зарегистрированная интенсивность j - компонента.

Недостатком прототипа является отсутствие практической возможности получения индивидуальных газов с однородным изотопным составом типа: HD, НТ, DT, СН3Т, СТ4, NT3 и других подобных соединений. Это, как следствие, делает невозможным проведение градуировки прибора для данных газов по способу-прототипу. Кроме того, при хранении вследствие радиоактивного распада атомов трития образуется изотоп гелия-3, который изменяет состав газовой пробы и будет влиять на результаты масс-спектрометрических анализов.

Сумма перечисленных факторов показывает сложность вопроса, связанного с градуировкой масс-спектрометра применительно к количественному анализу газовых смесей, содержащих изотопы водорода.

Таким образом, задачей изобретения является создание способа, позволяющего проводить градуировку масс-спектрометра по всем изотопным комплексам водорода (Н2, HD, D2, НТ, DT, T2) и изотопам гелия (3He, 4He).

Технический результат, получаемый при использовании изобретения, заключается в том, что проводят серию масс-спектрометрических анализов индивидуальных газов (Н2, D2, Т2, 3He, 4He) и газовых смесей (H2+HD+D2; Н2+НТ+Т2; D2+DT+T2) с различным, но не известным содержанием компонентов. По результатам проведенных анализов определяют коэффициенты чувствительности масс-спектрометра, вследствие чего отпадает необходимость проведения градуировки прибора как самостоятельной стадии анализа, в том числе и по газовым смесям, содержащим изотопные комплексы HD, НТ и DT.

Поставленная задача решается тем, что при осуществлении способа, включающего определение коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектра и давления газа в системе напуска масс-спектрометра, согласно изобретению определение коэффициентов чувствительности прибора для индивидуальных газов проводят по серии результатов анализов индивидуальных газов и газовых смесей с различным содержанием компонентов, а коэффициенты чувствительности определяют путем решения методом наименьших квадратов системы линейных уравнений вида:

где Pi - давление анализируемой газовой смеси в системе напуска масс-спектрометра; Kj - коэффициент чувствительности j - компонента газовой смеси; Yi,j - интенсивность ионного тока j - компонента в i - газовой смеси; n - число анализов; m - число определяемых коэффициентов чувствительности, n≥m.

На основании определенных коэффициентов чувствительности в дальнейшем при анализе газовых смесей изотопов водорода и гелия расчет концентраций компонентов газовой смеси (Сj) проводят по формуле:

где Р - давление исследуемой газовой смеси в системе напуска масс-спектрометра (Р=ΣPj);

Pj - парциальное давление индивидуального газа в анализируемой газовой смеси.

Способ осуществляется следующим образом. Согласно изобретению градуировку масс-спектрометра проводят по результатам выполненных анализов индивидуальных газов (Н2, D2, Т2, 3He, 4He) и газовых смесей (Н2+D2; Н22; D2+T2). Газовые смеси готовят с различным содержанием компонентов, перекрывая не менее трех диапазонов концентраций, например: 20, 50 и 80%. Для получения значимых концентраций изотопных комплексов (HD, HT, DT) в соответствующих газовых смесях (H2+D2; Н22; D2+T2) проводят процесс уравновешивания изотопного состава путем цикла гидрирования - дегидрирования на гидридобразующем материале, например интерметаллическом соединении ZrCrFex [8]. При проведении масс-спектрометрических анализов в соответствии с патентом РФ №2367939 одновременно регистрируют давление газа в системе напуска масс-спектрометра и интенсивности масс-спектра. Результаты масс-спектрометрических анализов (масс-спектрометр типа МХ-7304) заносят в табл.1, при этом значения интенсивностей пиков (Yj) делятся на значение давления газа (Р), что позволяет перейти от абсолютных значений давления к относительным значениям концентраций (Cj), то есть

Когда число строк табл.1 будет больше или равно числу столбцов, составляют матричное уравнение:

где - приведенное значение интенсивности масс-спектра.

Решают уравнение (7) относительно вектора коэффициентов чувствительности (К) по алгоритмам для разреженных матриц [9, 10]. Наиболее эффективно проводить вычисления на языках программирования MatLab R2009, Maple 13 или Lab-View 2009, имеющих встроенные библиотеки для решения подобных задач. Результаты градуировки по заявленному способу представлены в табл.2.

Таблица 1
Матрица последовательного накапливания данных
m/е=2 m/e=3 m/e=3 m/e=4 m/e=4 m/e=5 m/e=5 m/e=6 Yp
Н2 He-3 HD He-4 HT D2 DT T2 CΣ
0.14527 0 0 0 0 0 0 0 1
0.147 0 0 0 0 0 0 0 1
0.1469 0 0 0 0 0 0 0 1
0 0.1195 0 0 0 0 0 0 1
0 0 0 0 0 0 0.03 1.3693 1
0 0.1187 0 0 0 0 0 0 1
0 0 0 0.135 0 0 0 0 1
0 0 0 0.1381 0 0 0 0 1
0.005 0 0 0 0 0.99 0 0 1
0.07753 0 0 0 0.1626 0 0.01 0.23632 1
0.003 0 0 0 0 0.99 0 0 1
0.0087 0 0 0 0 0.96 0 0 1
0.103 0 0.0925 0 0 0.067 0 0 1
0.047 0 0.1774 0 0 0.2378 0 0 1
0.05 0 0.1489 0 0 0.2951 0 0 1
0.051 0 0.1409 0 0 0.2876 0 0 1
0.072 0 0 0 0 0.5262 0 0 1
0 0 0 0 0.01 0 0.03 1.3682 1
0.067 0 0 0 0 0.54945 0 0 1
0.0352 0 0.1749 0 0 0.3485 0 0 1
0.0661 0 0.097 0 0 0.33536 0 0 1
0.04 0 0.19153 0 0 0.2546 0 0 1
0.041 0 0.20036 0 0 0.2148 0 0 1
0 0 0 0 0 0.4695 0.366 0.30794 1
0 0 0 0,135 0 0 0 0 1
0.04859 0 0.15456 0 0 0.27541 0 0 1
0.09876 0 0.0652 0 0 0.15988 0 0 1
0 0 0 0 0 0.10398 0.01855 1.2089 1

Таблица 2
Коэффициенты чувствительности изотопов водорода и гелия
m/e=2 m/e=3 m/e=3 m/e=4 m/e=4 m/e=4 m/e=5 m/е=6
Н2 He-3 HD He-4 HT D2 DT Т2
6,83 8,4 2,5 7,35 1,8 0,98 0,87 0,717

Для доверительной вероятности Р=0.99 и числе степеней свободы (n-1)=27 (табл.1), коэффициент Стьюдента равен t=2.77, тогда доверительный интервал для коэффициентов чувствительности (Kj) изотопов водорода и гелия составит:

В дальнейшем данные табл.1 могут быть дополнены новыми результатами, что, как следствие, будет минимизировать относительную погрешность определения коэффициентов чувствительности.

Использование изобретения позволит повысить точность и достоверность получаемых результатов при анализе газовых смесей, содержащих изотопы водорода и гелия. Кроме того, снимается проблема приготовления градуировочных газовых смесей и их аттестация альтернативными (независимыми) методами анализа, что весьма актуально при анализе газовых смесей, содержащих атомы трития.

Литература

1. Сысоев А.А., Чупахин М.С. Введение в масс-спектрометрию. М.: Атомиздат, 1977.

2. Агафонов Л.И., Девятых Г.Г. Масс-спектрометрический анализ газов и паров особой чистоты. - М.: Наука, 1980.

3. Сидоров Л.Н., Коробов М.В., Журавлева Л.В. Масс-спектральные термодинамические исследования. Изд. Московского университета, 1985, с.28.

4. Абрамов И.А., Казаковский Н.Т. Способ проведения количественного масс-спектрометрического анализа газовых смесей. Патент РФ 2367939 С1, приоритет от 28.01.2008. G01N 27/64, опубл. 20.09.2009. БИ. №26. (Прототип).

5. Котлеров Д.В. Метрологические основы газоаналитических измерений. - М.: Изд-во Комитета стандартов, мер и измерительных приборов, 1967.

6. Капышев В.К., Милешкин Ю.А. и др. "Методика определения изотопного состава водорода и гелия в тритиевой технологической системе установки ТСП". Вопросы атомной науки и техники. Серия Термоядерный синтез, вып.4, стр.38-41, 1991.

7. Андреев Б.М., Магомедбеков Э.П., Розенкевич М.Б., Сахаровский Ю.А. Гетерогенные реакции изотопного обмена трития. М.: Эдиториал УРСС, 1999, с.27.

8. Ривкис Л.А., Капышев В.К., Осипов И.Е., Князев А.И. Сорбционный компрессор на основе интерметаллида ZrCrFex для обратимого хранения топлива. Аннотации докладов международного семинара "Потенциал российских ядерных центров и МНТЦ в тритиевых технологиях", Саров, 17-21 мая 1999, с.39.

9. Лоусон Ч., Хенсон Р. Численное решение задач метода наименьших квадратов. Пер. с англ. - М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат.лит., 1986.

10. Джордж А., Лю Дж. Численное решение больших разреженных систем уравнений. Пер. с англ. - М.: Мир, 1984.

Способ проведения градуировки масс-спектрометра для количественного анализа газовых смесей, заключающийся в определении коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектра и давления газа в системе напуска масс-спектрометра, отличающийся тем, что определение коэффициентов чувствительности прибора для индивидуальных газов проводят по серии результатов анализов индивидуальных газов и газовых смесей с различным содержанием компонентов, а коэффициенты чувствительности (K) определяют путем решения методом наименьших квадратов системы линейных уравнений вида: где P - давление газа в системе напуска масс-спектрометра; - приведенная интенсивность ионного тока j - компонента в i - газовой смеси; n - число анализов; m - число коэффициентов чувствительности, n≥m.
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГРАДУИРОВКИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГРАДУИРОВКИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГРАДУИРОВКИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 11-20 из 57.
27.05.2014
№216.012.cb3a

Оптическая система формирования лазерного излучения для газового лазера

Изобретение относится к лазерной технике и может быть использовано в конструкциях газовых лазеров. Оптическая система формирования лазерного излучения для газового лазера на основе неустойчивого оптического резонатора телескопического типа содержит заключенные в герметичный газовый объем глухое...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002517792
Дата охранного документа: 27.05.2014
20.07.2014
№216.012.de2f

Установка для теплофизических испытаний образца из токопроводящего материала при импульсном нагреве

Изобретение относится к теплофизическим испытаниям и может быть использовано при испытаниях токопроводящих материалов (ТМ). Заявлена установка для теплофизических испытаний образца из токопроводящего материала при импульсном нагреве, содержащая дилатометрическую систему, рабочую камеру с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522665
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.de37

Пастообразный материал для защиты от нейтронного излучения и способ приготовления пастообразного материала для защиты от нейтронного излучения

Изобретение относится к технологии изготовления материалов для защиты от нейтронного излучения. Пастообразный материал для защиты от нейтронного излучения включает консистентную смазку ВНИИНП-293 и порошкообразный бор аморфный в качестве наполнителя при массовом соотношении компонентов (%)...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522673
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.de5a

Способ регистрации нейтронного потока ядерной установки в широком диапазоне измерений и устройство для его реализации

Изобретение относится к способам детектирования нейтронного потока в зоне облучения. Способ регистрации нейтронного потока ядерной установки в широком диапазоне измерений, заключающийся в том, что детектируют нейтронный поток ядерной установки посредством регистрации токового режима камеры...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522708
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.de63

Облицовка снарядоформирующего заряда

Изобретение относится к боеприпасам, в частности к конструкциям облицовок снарядоформирующих зарядов, и может использоваться в устройствах формирования поражающих элементов (ПЭ) для пробития бронированных целей. Облицовка снарядоформирующего заряда выполнена разнотолщинной, однослойной и с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522717
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.deae

Способ определения давления газа в индивидуальных микросферах и устройство для его осуществления

Изобретение относится к методам определения свойств микросфер и может быть использовано для измерения газосодержания в индивидуальных микросферах, изучения динамики истечения газа из микросфер и определения разброса давления в партии микросфер. Способ определения давления газа в индивидуальных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522792
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.df14

Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом (варианты)

Изобретение относится к высокочастотной технике и может быть использовано при создании генераторов высокочастотного (ВЧ) излучения. Для первого варианта генератора по сравнению с генератором высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом, содержащим газоразрядную камеру,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522894
Дата охранного документа: 20.07.2014
27.07.2014
№216.012.e4fb

Устройство взрывное

Изобретение относится к области взрывной техники и может быть использовано в разработке боеприпасов военного назначения, взрывных устройств для применения в хозяйственной и научно-исследовательской деятельности. В устройстве взрывном содержится основной заряд ВВ, детонационный волновой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002524409
Дата охранного документа: 27.07.2014
20.08.2014
№216.012.e9e4

Способ сборки микроэлектромеханических устройств

Использование: область микроэлектроники, а именно сборка микроэлектромеханических устройств и систем (МЭМС) на основе пьезоэлектрического кварца. Технический результат: повышение надежности функционирования в условиях высоких комплексных внешних воздействий. Сущность: способ включает выполнение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002525684
Дата охранного документа: 20.08.2014
20.08.2014
№216.012.ea01

Устройство спектральной селекции оптического излучения

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается устройства спектральной селекции оптического излучения. Устройство состоит из расположенных вдоль оптической оси входной оптической системы и интерферометра Фабри-Перо. Входная оптическая система обеспечивает формирование...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002525713
Дата охранного документа: 20.08.2014
Показаны записи 11-20 из 59.
27.05.2014
№216.012.cb3a

Оптическая система формирования лазерного излучения для газового лазера

Изобретение относится к лазерной технике и может быть использовано в конструкциях газовых лазеров. Оптическая система формирования лазерного излучения для газового лазера на основе неустойчивого оптического резонатора телескопического типа содержит заключенные в герметичный газовый объем глухое...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002517792
Дата охранного документа: 27.05.2014
20.07.2014
№216.012.de2f

Установка для теплофизических испытаний образца из токопроводящего материала при импульсном нагреве

Изобретение относится к теплофизическим испытаниям и может быть использовано при испытаниях токопроводящих материалов (ТМ). Заявлена установка для теплофизических испытаний образца из токопроводящего материала при импульсном нагреве, содержащая дилатометрическую систему, рабочую камеру с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522665
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.de37

Пастообразный материал для защиты от нейтронного излучения и способ приготовления пастообразного материала для защиты от нейтронного излучения

Изобретение относится к технологии изготовления материалов для защиты от нейтронного излучения. Пастообразный материал для защиты от нейтронного излучения включает консистентную смазку ВНИИНП-293 и порошкообразный бор аморфный в качестве наполнителя при массовом соотношении компонентов (%)...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522673
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.de5a

Способ регистрации нейтронного потока ядерной установки в широком диапазоне измерений и устройство для его реализации

Изобретение относится к способам детектирования нейтронного потока в зоне облучения. Способ регистрации нейтронного потока ядерной установки в широком диапазоне измерений, заключающийся в том, что детектируют нейтронный поток ядерной установки посредством регистрации токового режима камеры...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522708
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.de63

Облицовка снарядоформирующего заряда

Изобретение относится к боеприпасам, в частности к конструкциям облицовок снарядоформирующих зарядов, и может использоваться в устройствах формирования поражающих элементов (ПЭ) для пробития бронированных целей. Облицовка снарядоформирующего заряда выполнена разнотолщинной, однослойной и с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522717
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.deae

Способ определения давления газа в индивидуальных микросферах и устройство для его осуществления

Изобретение относится к методам определения свойств микросфер и может быть использовано для измерения газосодержания в индивидуальных микросферах, изучения динамики истечения газа из микросфер и определения разброса давления в партии микросфер. Способ определения давления газа в индивидуальных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522792
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.df14

Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом (варианты)

Изобретение относится к высокочастотной технике и может быть использовано при создании генераторов высокочастотного (ВЧ) излучения. Для первого варианта генератора по сравнению с генератором высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом, содержащим газоразрядную камеру,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522894
Дата охранного документа: 20.07.2014
27.07.2014
№216.012.e4fb

Устройство взрывное

Изобретение относится к области взрывной техники и может быть использовано в разработке боеприпасов военного назначения, взрывных устройств для применения в хозяйственной и научно-исследовательской деятельности. В устройстве взрывном содержится основной заряд ВВ, детонационный волновой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002524409
Дата охранного документа: 27.07.2014
20.08.2014
№216.012.e9e4

Способ сборки микроэлектромеханических устройств

Использование: область микроэлектроники, а именно сборка микроэлектромеханических устройств и систем (МЭМС) на основе пьезоэлектрического кварца. Технический результат: повышение надежности функционирования в условиях высоких комплексных внешних воздействий. Сущность: способ включает выполнение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002525684
Дата охранного документа: 20.08.2014
20.08.2014
№216.012.ea01

Устройство спектральной селекции оптического излучения

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается устройства спектральной селекции оптического излучения. Устройство состоит из расположенных вдоль оптической оси входной оптической системы и интерферометра Фабри-Перо. Входная оптическая система обеспечивает формирование...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002525713
Дата охранного документа: 20.08.2014
+ добавить свой РИД